Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems

Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet. Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: …

CPV: 31712100 Mikroelektroniska maskiner och apparater
Sista ansökningsdag:
13 juni 2025 13:00
Typ av tidsfrist:
Inlämnande av anbud
Plats för avrättning:
Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Plats för tilldelning:
NaMLab gGmbH
Tilldelningsnummer:
NLB2025_05

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : NaMLab gGmbH
Rechtsform des Erwerbers : Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Wirtschaftliche Angelegenheiten

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Beschreibung : Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Kennung des Verfahrens : 0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2
Interne Kennung : NLB2025_05
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Nöthnitzer Straße 64a
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen : Reinraum, 1. Stock im Gebäude

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift : EU Richtlinien

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung
Korruption : Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage im Wettbewerbsregister

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Lieferung und Inbetriebnahme eines Dual Beam Sputter Systems
Beschreibung : Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet. Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: 1) die Abscheidung von hochwertigen, dichten, metallischen und nichtmetallischen dünnen Schichten von einem Materialtarget in einer Vakuumprozesskammer; 2) die Abscheidung dieser dünnen Schichten soll sowohl in einer nicht reaktiven als auch in einer reaktiven Atmosphäre durchführbar sein; 3) die Durchführung von Vorreinigungs- und Ionenstrahl-Ätzprozessen soll möglich sein. Die Prozessanlage wird im Zusammenhang mit der Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt, so dass die Prozessanlage auch Wafer aus z.B. Silizium, GaN und SiC mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bearbeiten können muss. Die Anlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
Interne Kennung : LOT-0001

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge : 1 Stück

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Nöthitzer Straße 64a
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen : Reinraum, 1. Stock im Gebäude

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 12 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.8 Zugänglichkeitskriterien

Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung : Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Kriterium : Finanzkennzahlen
Beschreibung : Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Kriterium : Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung : Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Kriterium : Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung : Eigenerklärung muss unterschrieben werden.

5.1.11 Auftragsunterlagen

Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen : Schutz besonders sensibler Informationen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Informationen über zugangsbeschränkte Dokumente einsehbar unter : https://www.evergabe.de/unterlagen/0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2/zustellweg-auswaehlen

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit : Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Frist für den Eingang der Angebote : 13/06/2025 13:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 7 Woche
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Details zu den Spezifikatonen; Informationen zum Unternehmen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 13/06/2025 14:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : ja
Finanzielle Vereinbarung : Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %. Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : NaMLab gGmbH -
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt : NaMLab gGmbH -
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion -

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : NaMLab gGmbH
Registrierungsnummer : HRB 24890
Postanschrift : Nöthnitzer Straße 64 a
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf
Telefon : +49 21249900
Internetadresse : https://www.namlab.com
Profil des Erwerbers : https://www.evergabe.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Registrierungsnummer : keine Angabe
Postanschrift : Braustraße 2
Stadt : Leipzig
Postleitzahl : 04107
Land, Gliederung (NUTS) : Leipzig ( DED52 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 3419771040
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 0196aa5e-fbde-46a7-9721-34317a25636f - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 08/05/2025 11:06 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00298452-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 90/2025
Datum der Veröffentlichung : 12/05/2025