Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et …

CPV: 31712100 Mikroelektroniska maskiner och apparater
Plats för avrättning:
Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Plats för tilldelning:
CEA Grenoble
Tilldelningsnummer:
B24-01773-AT

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà. Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges) o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o Option n°5 : Transformateur électrique o Option n°6 : Deuxième année de garantie o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant de la procédure : 1a17cd92-f9ea-42c9-85a3-84ed4f646766
Avis précédent : 479572-2024
Identifiant interne : B24-01773-AT
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée : non

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.2 Lieu d’exécution

Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France

2.1.4 Informations générales

Informations complémentaires : « Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables ».
Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà. Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges) o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o Option n°5 : Transformateur électrique o Option n°6 : Deuxième année de garantie o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant interne : B24-01773-AT

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.2 Lieu d’exécution

Adresse postale : CEA Grenoble / 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires :

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.6 Informations générales

Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations relatives aux avis antérieurs :
Identifiant de l’avis antérieur : 479572-2024
Informations complémentaires : La durée de 12 mois est une durée donnée à titre indicatif.

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (décimal, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 1

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui signe le marché : CEA Grenoble

6. Résultats

Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis : 1 Dollar des États-Unis

6.1 Résultat – Identifiants des lots : LOT-0001

Au moins un lauréat a été choisi.

6.1.2 Informations sur les lauréats

Lauréat :
Nom officiel : APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA PTE LTD
Offre :
Identifiant de l’offre : B24-01173-AT
Identifiant du lot ou groupe de lots : LOT-0001
Valeur de l'offre : 1 Dollar des États-Unis
L’offre est une variante : non
Sous-traitance : Pas encore connu
Informations relatives au marché :
Identifiant du marché : B24-01773-AT
Date de conclusion du marché : 17/07/2025
Organisation qui signe le marché : CEA Grenoble

6.1.4 Informations statistiques

Offres ou demandes de participation reçues :
Type de soumissions reçues : Offres présentées par voie électronique
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues : 1

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : M. Anguéran Thirion
Adresse électronique : angueran.thirion@cea.fr
Téléphone : 0659450565
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui signe le marché

8.1 ORG-0002

Nom officiel : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Numéro d’enregistrement : 173800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun Boîte Postale 1135
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone : +33 476429000
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours

8.1 ORG-0003

Nom officiel : APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA PTE LTD
Taille de l’opérateur économique : Grande
Numéro d’enregistrement : 38512486200033
Adresse postale : 8 Upper Changi Road North
Ville : Singapour
Code postal : 506906
Pays : Singapour
Rôles de cette organisation :
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : efbc1749-b40f-4a65-a4b2-55ec38a0a5b7 - 01
Type de formulaire : Résultats
Type d’avis : Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 28/07/2025 11:22 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 00493619-2025
Numéro de publication au JO S : 143/2025
Date de publication : 29/07/2025