Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL

Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche. L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra …

CPV: 31712100 Mikroelektroniska maskiner och apparater
Plats för avrättning:
Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Plats för tilldelning:
CEA/GRENOBLE
Tilldelningsnummer:
PN-B25-03483-ST

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Description : Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche. L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP - Options avec chiffrage facultatif : Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau Option 5 : Formation à la Maintenance avancée Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant de la procédure : c168855e-d4d5-462e-a846-334d73ae6883
Identifiant interne : PN-B25-03483-ST
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée : non

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.2 Lieu d’exécution

Ville : Grenoble
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.

2.1.3 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 1 Euro

2.1.4 Informations générales

Informations complémentaires : Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B25-03483-ST Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Base juridique :
Directive 2014/24/UE

2.1.6 Motifs d’exclusion

Sources des motifs d'exclusion : Document de marché

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d’un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Description : Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche. L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP - Options avec chiffrage facultatif : Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau Option 5 : Formation à la Maintenance avancée Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.2 Lieu d’exécution

Ville : Grenoble
Code postal : 38000
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.6 Informations générales

Participation réservée : La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE : FAMES-PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr

5.1.9 Critères de sélection

Sources des critères de sélection : Document de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes :
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure : 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).

5.1.11 Documents de marché

Adresse des documents de marché : https://www.marches-publics.gouv.fr

5.1.12 Conditions du marché public

Conditions de présentation :
Présentation par voie électronique : Requise
Adresse de présentation : https://www.marches-publics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées : français, anglais
Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation : 10/11/2025 14:00 +01:00
Conditions du marché :
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés : Non
Facturation en ligne : Autorisée
La commande en ligne sera utilisée : non
Le paiement en ligne sera utilisé : non

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché : CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui reçoit les demandes de participation : CEA/GRENOBLE
Organisation qui traite les offres : CEA/GRENOBLE

8. Organisations

8.1 ORG-0003

Nom officiel : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 17800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville : GRENOBLE CEDEX
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone : 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours

8.1 ORG-0004

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 avenue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Syrga TURGANALIEVA
Adresse électronique : syrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone : 0438783071
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui reçoit les demandes de participation
Organisation qui traite les offres

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : def88df0-6889-449e-a897-4436548cc241 - 01
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d’avis : Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 09/10/2025 08:54 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 00665629-2025
Numéro de publication au JO S : 195/2025
Date de publication : 10/10/2025