Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support) Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

CPV: 22520000 Oprema za suho jedkanje
Rok:
27. november 2025. 13:00
Vrsta roka:
Oddaja ponudbe
Kraj izvršitve:
Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Organ za podeljevanje:
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Številka dodelitve:
FBH-2025-0141

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers : Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Beschreibung : FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Kennung des Verfahrens : 98728eb4-5ebb-42f5-9027-3129e266a320
Interne Kennung : FBH-2025-0141
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 22520000 Trockenätzausrüstung

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt : Berlin
Postleitzahl : 12489
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.3 Wert

Höchstwert der Rahmenvereinbarung : 1 000 000 Euro

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Siehe Ausschreibungsunterlagen
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Beschreibung : Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 22520000 Trockenätzausrüstung
Optionen :
Beschreibung der Optionen : Siehe Zuschlagskriterien und Ausschreibungsunterlagen insbesondere Verfahrensbedingungen

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Berlin
Postleitzahl : 12489
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 02/03/2026
Enddatum der Laufzeit : 30/06/2027

5.1.5 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 900 000 Euro
Höchstwert der Rahmenvereinbarung : 1 000 000 Euro

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Erforderlich für das Angebot
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein
Zusätzliche Informationen : Siehe Ausschreibungsunterlagen

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Lieferfrist
Beschreibung : Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 10
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 90

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Zulässig
Adresse für die Einreichung : https://vergabekooperation.berlin/NetServer/
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 27/11/2025 13:00 +01:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 4 Monat
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Siehe Ausschreibungsunetralgen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 27/11/2025 14:00 +01:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Rahmenvereinbarung ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
Höchstzahl der Teilnehmer : 1
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer des Landes Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen : Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer : 11-2100046002-96
Postanschrift : Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt : Berlin
Postleitzahl : 12489
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Telefon : +49 30 63922600
Internetadresse : http://www.fv-berlin.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer des Landes Berlin
Registrierungsnummer : t:03090138316
Postanschrift : Martin-Luther-Str. 105
Stadt : Berlin
Postleitzahl : 10825
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : bd307cf5-28c5-4544-a1f6-8931cd194433 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 23/10/2025 12:01 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00704503-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 205/2025
Datum der Veröffentlichung : 24/10/2025