RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W

PR869261 - 2050 -W RTP (Rapid Thermal Processing) system The Fraunhofer IAF plans to purchase an RTP (Rapid Thermal Processing) system. The system should be capable to process 150 and 200 mm wafers on a susceptor or multiple (50 to 100 mm) wafers on a susceptor. The temperature range for …

CPV: 42900000 Rôzne strojové zariadenia na všeobecné a osobitné účely
Miesto vykonania:
RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W
Udeľujúci orgán:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Číslo udelenia:
PR869261 - 2050 -W

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W
Beschreibung : PR869261 - 2050 -W RTP (Rapid Thermal Processing) system
Kennung des Verfahrens : a6ea81ab-95b9-4c88-aacb-feda41e25c81
Interne Kennung : PR869261 - 2050 -W
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Freiburg
Postleitzahl : 79108
Land, Gliederung (NUTS) : Freiburg im Breisgau, Stadtkreis ( DE131 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : RTP (Rapid Thermal Processing) system - PR869261 - 2050 -W
Beschreibung : The Fraunhofer IAF plans to purchase an RTP (Rapid Thermal Processing) system. The system should be capable to process 150 and 200 mm wafers on a susceptor or multiple (50 to 100 mm) wafers on a susceptor. The temperature range for thermal processing should be from ambient temperture up to #1450°C. The process gases used at atmospheric pressure are: N2, Ar, N2O, NH3, O2 and forming gas (N2/H2). All Details of the specification are listed below.
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Freiburg
Postleitzahl : 79108
Land, Gliederung (NUTS) : Freiburg im Breisgau, Stadtkreis ( DE131 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 6 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technische Ausführung
Beschreibung : Technische Ausführung
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 55
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Nachhaltigkeit
Beschreibung : Nachhaltigkeit
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 10
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 -
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 0,01 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Annealsys
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 25/03/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Annealsys
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : FR 39 453 588 402
Postanschrift : 139 rue des Walkyries
Stadt : Montpellier
Postleitzahl : 34000
Land, Gliederung (NUTS) : Hérault ( FRJ13 )
Land : Frankreich
Telefon : +33 467202363
Fax : +33 467202689
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : bbc3aa8f-f6db-465f-8dfc-8f8286ee78d0 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 25/03/2025 10:33 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00195570-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 60/2025
Datum der Veröffentlichung : 26/03/2025