Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems

Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können. Geliefert werden …

CPV: 42000000 Echipamente industriale
Termen limită:
14 August 2025, 10:00
Tipul de termen limită:
Depunerea unei oferte
Locul de executare:
Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Organismul de alocare:
Leibniz Universität Hannover
Numărul de atribuire:
51.31 - 2025 - 23

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Leibniz Universität Hannover
Rechtsform des Erwerbers : Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Beschreibung : Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können.
Kennung des Verfahrens : 16e46533-bab0-4606-86b1-97e20c44999e
Interne Kennung : 51.31 - 2025 - 23
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42000000 Industrielle Maschinen

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : An der Universität 2
Stadt : Garbsen
Postleitzahl : 30823
Land, Gliederung (NUTS) : Region Hannover ( DE929 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE5UX2
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung, Auftragsunterlagen
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Betrug :
Korruption :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Zahlungsunfähigkeit :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Beschreibung : Geliefert werden soll ein multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können. Die Kombination einer großen Primärionenquelle und der Sekundärionenquelle soll zudem das duale Ionenstrahlsputtern (DIBS) mit höchster Homogenität ermöglichen. Hierzu müssen beide Quellen gleichzeitig eingesetzt werden können. Zusammen mit der Defektfreiheit, Reinheit und dem einstellbaren Brechungsindex durch den Einsatz von Zonentargets lassen sich so optimal glatte und dichte Schichten mit höchster optischer Qualität erzeugen, wie es mit keinem anderen Verfahren möglich ist. Die Zonentargets erlauben zudem die Herstellung alternierender Schichtsysteme mit kontinuierlichen Übergängen, sodass Rugate Filter hergestellt werden können. Die physikalische Schichtdicke wird dabei hochpräzise mithilfe von Schwingquarzen und die optische Schichtdicke mithilfe eines optischen Breitband-Monitorings überwacht, mit dessen Hilfe eine rezeptorientierte, vollautomatische Prozesskontrolle vorliegt. Dabei ist ein automatischer Targetwechsel für mindestens 4 Targetmaterialien in Echtzeit möglich. Die Schleusenkammer ermöglicht kurze Abpumpzeiten und die komplementären Prozesse können flexibel aufeinanderfolgend ohne Vakuumbruch mit geringster Partikelkontamination eingesetzt werden. Dies erleichtert bspw. die Oberflächenvorbehandlung zur Erreichung maximaler Schichthaftung. Sensorische und optische Komponenten sollen so defektfrei und mit hoher Ausbeute und Reproduzierbarkeit hergestellt werden können. Die Anlage soll in einem Reinraum ISO Klasse 5 aufgestellt werden und muss entsprechend kompatibel sein. Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden nachstehende Kriterien angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird. Preisangaben sind bitte Brutto anzugeben (inkl. MwSt.). Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis. Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen. Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.
Interne Kennung : 51.31 - 2025 - 23

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42000000 Industrielle Maschinen

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : An der Universität 2
Stadt : Garbsen
Postleitzahl : 30823
Land, Gliederung (NUTS) : Region Hannover ( DE929 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit : Unbegrenzt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Beschreibung : Bitte beachten Sie die im Anschreiben angegebenen einzureichenden Unterlagen.

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : günstigster Preis
Beschreibung : Preis: Als maßgeblich wird der Gesamtpreis des Angebots, einschließlich aller Transport-, Ausstattungs-, Support- und Gewährleistungsoptionen gesehen. Laufende Kosten beispielsweise aus Dienstleistungen zu Support- und Gewährleistungsoptionen sind unzulässig bzw. sind im Zusammenhang mit dem Lieferauftrag im Vornhinein zu kontingentieren.
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 25

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen : 07/08/2025 23:59 +02:00
Internetadresse der Auftragsunterlagen : https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal :

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Zulässig
Varianten : Zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 14/08/2025 10:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 1.1092025E7 Monat
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den Angebotsinhalt grundlegend verändern können).
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 14/08/2025 10:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Als maßgeblich und verbindlich wird der zugesicherte Liefertermin an den Hauptlieferort ab möglicher Auftragserteilung gesehen. Berücksichtigt werden nur Angebote, deren Liefertermin am oder vor dem 01.06.2026 liegt. Das Angebot mit dem frühesten Liefertermin erhält die volle Punktzahl. Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.300.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.
Elektronische Rechnungsstellung : Nicht zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein
Finanzielle Vereinbarung : Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Informationen über die Überprüfungsfristen : Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit: 1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt; 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Leibniz Universität Hannover
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : Leibniz Universität Hannover

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Leibniz Universität Hannover
Registrierungsnummer : DE811245527
Postanschrift : Welfengarten 1
Stadt : Hannover
Postleitzahl : 30167
Land, Gliederung (NUTS) : Region Hannover ( DE929 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf
Telefon : +49 5117625457
Profil des Erwerbers : https://www.uni-hannover.de/de/
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Registrierungsnummer : t:04131153308
Postanschrift : Auf der Hude 2
Stadt : Lüneburg
Postleitzahl : 21339
Land, Gliederung (NUTS) : Lüneburg, Landkreis ( DE935 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 413115-3308
Fax : +49 413115-2943
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : ed84291f-1523-496e-8b01-92cad9cb6faa - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 14/07/2025 10:11 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00460152-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 133/2025
Datum der Veröffentlichung : 15/07/2025