ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit …

CPV: 38000000 Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor)
Locul de executare:
ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.
Organismul de alocare:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Numărul de atribuire:
EU-OV/2024-71

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Rechtsform des Erwerbers : Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.
Beschreibung : Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.
Kennung des Verfahrens : 50facca7-c22c-4792-bd51-028f3a5657f8
Interne Kennung : EU-OV/2024-71
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Jena, Kreisfreie Stadt ( DEG03 )
Land : Deutschland

2.1.3 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 825 000 Euro

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.
Beschreibung : Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.
Interne Kennung : EU-OV/2024-71

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Jena, Kreisfreie Stadt ( DEG03 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung :
Beschreibung : 100
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Rangfolge
Zuschlagskriterium — Zahl : 1
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 681 300 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0001

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebot :
Kennung des Angebots : 1
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0001
Wert der Ausschreibung : 681 300 Euro
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet : ja
Rang in der Liste der Gewinner : 1
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : 1
Datum der Auswahl des Gewinners : 30/01/2025
Datum des Vertragsabschlusses : 20/02/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Registrierungsnummer : DE150546536
Stadt : Jena
Postleitzahl : 07743
Land, Gliederung (NUTS) : Jena, Kreisfreie Stadt ( DEG03 )
Land : Deutschland
Telefon : 000
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Registrierungsnummer : 11111
Stadt : Weimar
Postleitzahl : 99423
Land, Gliederung (NUTS) : Weimar, Kreisfreie Stadt ( DEG05 )
Land : Deutschland
Telefon : 0361 57332 1254
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer : DE128244113
Stadt : Krailling
Postleitzahl : 82152
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 897 9607 - 0
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Gewinner dieser Lose : LOT-0001

8.1 ORG-0004

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 8ce93cb3-cb8c-4b53-a314-bda9aa1c2f53 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 25/02/2025 00:00 +01:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00127884-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 40/2025
Datum der Veröffentlichung : 26/02/2025