164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)

System zu Elektronenstrahllithografie Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.

CPV: 38000000 Laboratorijas, optiskās un precīzijas ierīces (izņemot brilles)
Termiņš:
2025. gada 9. septembris, 11:00
Termiņa veids:
Piedāvājuma iesniegšana
Izpildes vieta:
164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)
Piešķīrēja iestāde:
RWTH Aachen University
Piešķīruma numurs:
10038206

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : RWTH Aachen University
Rechtsform des Erwerbers : Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : 164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)
Beschreibung : System zu Elektronenstrahllithografie
Kennung des Verfahrens : b7811782-3071-4ee5-86ce-94373429e17a
Interne Kennung : 10038206
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Otto-Blumenthal-Str. 4
Stadt : Aachen
Postleitzahl : 52074
Land, Gliederung (NUTS) : Städteregion Aachen ( DEA2D )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen : Erdgeschoss

2.1.3 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 1 680 672,27 Euro

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YTBBYLM1H Es sind keine weiteren Hinweise notwendig.
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen : § 21 des Arbeitnehmer-Entsendegesetzes, § 98c des Aufenthaltsgesetzes, § 19 des Mindestlohngesetzes, § 21 des Schwarzarbeitsbekämpfungsgesetzes und § 22 des Lieferkettensorgfaltspflichtengesetzes vom 16. Juli 2021 (BGBl. I S. 2959)
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 2 + 3 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Betrug : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 4 + 5 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Korruption : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 6 - 9 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 10 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 4 Nr. 1 + 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 4 Nr. 1 + 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Zahlungsunfähigkeit : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 3 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 5 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 6 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 7 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. : § 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 8 + 9 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : 164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)
Beschreibung : Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.
Interne Kennung : 10038206

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Otto-Blumenthal-Str. 4
Stadt : Aachen
Postleitzahl : 52074
Land, Gliederung (NUTS) : Städteregion Aachen ( DEA2D )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen : Erdgeschoss

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 14 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : ja
Zusätzliche Informationen : #Besonders auch geeignet für:other-sme#

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Verringerung der Auswirkungen auf die Umwelt
Beschreibung : Dok 2.2 Stellungnahme Umweltschutz
Konzept zur Verringerung der Umweltauswirkungen : Vermeidung und Verminderung der Umweltverschmutzung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Umweltmanagementmaßnahmen
Beschreibung : Dok 2.2 Stellungnahme Umweltschutz (bei Abgabe in VMP keine Unterschrift notwendig) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): alternativ Zertifikat ISO 14001
Kriterium : Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung : Eigenerklärung über den Abschluss einer Bieterhaftpflichtversicherung (in Dok 3) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Die Mindestdeckungssumme für Sach-, Personen- und Vermögensschäden beträgt kumuliert 2.000.000 EUR pro Jahr für alle Schadensfälle.
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Eigenerklärung über die Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft (in Dok 3) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung : Kopie eines Handelsregisterauszugs (nicht älter als 01.12.2024) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Dok 2.1 Eigenerklärung Ausschlussgründe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Sofern zutreffen Dok. 15 Bewerber-/ Bietergemeinschaftserklärung (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): (von den Mitgliedern der Bewerbe-/Bietergemeinschaft ausgefüllt und unterschrieben in Textform gem. § 126b BGB)
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Dok 2.3 Eigenerklärung-Sanktionen-EU (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Dok 3 Angebotsschreiben (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Anteil der Unterauftragsvergabe
Beschreibung : Sofern zutreffend Dok 5 Erklärung Nachunternehmer/Eignungsleihe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Dok 8 Vergütungszusammenstellung (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Ggf. Antworten zu den Fragen in Dok 4 Anforderungsprofil auf gesonderter Anlage (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung : Dok 4 Anforderungsprofil (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium : Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung : Angabe von 2 Referenzen gem. Dok 13 (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Angabe von 2 Referenzen: Bitte geben Sie vergleichbare Systeme, inkl. Angabe des Verwendungszwecks, an, welche in den vergangenen 5 Jahren in Betrieb genommen wurden an. Die Referenzen müssen folgende Mindestanforderungen erfüllen: - Referenzen deutsch- oder englischsprachig - Beschleunigungsspannung des Geräts 50 - 100 kV - Die Linienbreite beträgt maximal 8 nm bei einer Beschleunigungsspannung von 100 kV und einem FOV von 100 x 100 µm2 - Die Stitching-Genauigkeit beträgt maximal +/- 9 nm bei einer Beschleunigungsspannung von 100 kV und einem FOV von 100 x 100 µm2 - Es ist eine Probenschleusekammer mit mindestens 6 Plätzen für Probenhalter vorhanden Die Darstellung der Referenz muss in nachprüfbarer Weise durch Namen des Kunden, Ansprechpartner beim Kunden, Anschriften, E-Mail-Adresse und Telefonnummer des Ansprechpartners beim Kunden erfolgen. Die RWTH behält sich vor, die Referenzen zu überprüfen. Die Angaben werden vertraulich behandelt. Der Bieter wird gebeten, das Einverständnis der angegebenen Referenzkunden vor Ablauf der Angebotsfrist einzuholen. Nichtüberprüfbare Referenzen führen zum Ausschluss des Verfahrens.

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen : 25/08/2025 23:59 +02:00

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 09/09/2025 11:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 83 Tag
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen (§ 56 Abs. 3 Vergabeverordnung)
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 09/09/2025 11:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Sofern der Bieter sich der Leistungen von Nachunternehmern bedienen möchte, sind folgende Unterlagen von jedem Nachunternehmer über den Bieter einzureichen: Bedingungen an die Ausführung eines Auftrags 1. Dok 6 Verpflichtungserklärung Nachunternehmer (vom Nachunternehmer ausgefüllt, unterschrieben und eingescannt einzureichen) 2. Dok 2.1 Eigenerklärung Ausschlussgründe (vom Nachunternehmer ausgefüllt und unterschrieben in Textform gem. § 126b BGB) 3. Eigenerklärung des Nachunternehmers über die Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft 4. Eigenerklärung des Nachunternehmers über den Abschluss einer Betriebshaftpflichtversicherung 5. Kopie eines Handelsregisterauszugs des Nachunternehmers (nicht älter als 01.12.2024)
Elektronische Rechnungsstellung : Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein
Von einer Bietergemeinschaft, die den Zuschlag erhält, anzunehmende Rechtsform : Mehrere Bieter können sich zu einer Bietergemeinschaft zusammenschließen. In diesem Fall hat die Bietergemeinschaft mit Einreichung des Angebots (i) sämtliche Mitglieder der an der Bietergemeinschaft beteiligten Bieter namentlich mit Anschrift, Telefon-/Telefaxnummer sowie E-Mail-Adresse zu benennen; (ii) einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrages zu bezeichnen und; (iii) eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen, in der die gesamtschuldnerische Haftung aller Mitglieder erklärt wird; (iv) eine detaillierte Übersicht einreichen, die darstellt, welches Mitglied für die Erbringung welcher Leistungen/Dienstleistungen verantwortlich ist.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer Rheinland
Informationen über die Überprüfungsfristen : Die Vergabe unterliegt der Nachprüfung durch die zuständige Nachprüfungsbehörde Vergabekammer Rheinland (vgl. §§ 155 ff. GWB). Nach § 160 Abs. 3 GWB ist ein Nachprüfungsantrag unzulässig, soweit (Nr. 1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt, (Nr. 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, (Nr. 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, (Nr. 4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : RWTH Aachen University
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Vergabekammer Rheinland
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : RWTH Aachen University

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : RWTH Aachen University
Registrierungsnummer : 053340002002-06001-37
Postanschrift : Wüllnerstr. 5
Stadt : Aachen
Postleitzahl : 52062
Land, Gliederung (NUTS) : Städteregion Aachen ( DEA2D )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Abt. 7.3 Zentraleinkauf
Telefon : +49 2418094200
Internetadresse : http://www.rwth-aachen.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer Rheinland
Registrierungsnummer : 05315-03002-81
Postanschrift : Zeughausstr. 2-10
Stadt : Köln
Postleitzahl : 50667
Land, Gliederung (NUTS) : Köln, Kreisfreie Stadt ( DEA23 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Siehe E-Mail-Adresse und Telefonnummer
Telefon : +49 221-1473045
Fax : +49 221-1472889
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : eed932c8-579c-42cc-a9af-c59967050e1b - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 25/07/2025 07:46 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00492592-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 142/2025
Datum der Veröffentlichung : 28/07/2025