IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den …

CPV: 42990000 Macchinari vari per impieghi speciali
Luogo di esecuzione:
IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken
Ente di assegnazione:
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Numero di premio:
2024/3410

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Rechtsform des Erwerbers : Von einer lokalen Gebietskörperschaft kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Wirtschaftliche Angelegenheiten

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken
Beschreibung : Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken.
Kennung des Verfahrens : 4f871b97-0561-422c-8feb-e849087d2679
Vorherige Bekanntmachung : 770072-2024
Interne Kennung : 2024/3410
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Stuttgart
Land, Gliederung (NUTS) : Stuttgart, Stadtkreis ( DE111 )
Land : Deutschland

2.1.3 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 1 Euro

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZ5NP6 (1) Es wird darauf hingewiesen, dass das am 1.7.2013 in Kraft getretene Tariftreue- und Mindestlohngesetz für öffentliche Aufträge in Baden-Württemberg (LTMG) sowie das Gesetz zur Regelung eines allgemeinen Mindestlohns (Mindestlohngesetz) Anwendung finden. Die sich hieraus ergebenden Verpflichtungen, insbesondere auch bei dem Einsatz von Nach- und Verleihunternehmen, sind daher zu beachten; (2) Die Teilnahmeformulare sind unter der für den Abruf der Unterlagen angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen Teilnahmeunterlagen sind wesentliche Teile der ausgeschriebenen Leistung sowie der Verfahrensvorgaben bereits dargestellt. Unter dieser Internetadresse werden auch Antworten auf Bewerberfragen sowie aktualisierte oder weitere Informationen und Unterlagen zu dem Verfahren zur Verfügung gestellt. Interessenten an dem Verfahren müssen sicherstellen, dass sie regelmäßig und insbesondere unmittelbar vor Abgabe ihres Teilnahmeantrags sowie vor Ablauf der Teilnahmefrist prüfen, ob seitens der Vergabestelle zusätzliche Informationen oder Unterlagen zur Verfügung gestellt wurden, welche für die Abgabe des Teilnahmeantrags zu beachten sind.
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : IMS Chips - Europaweite Vergabe einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken
Beschreibung : Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer vollautomatischen Reinigungsanlage zur Reinigung von Wafern und Masken. Die Anforderungen an das zu beschaffenden Partikelmessgeräts ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2). Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.
Interne Kennung : 2024/3410

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

5.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Stuttgart
Land, Gliederung (NUTS) : Stuttgart, Stadtkreis ( DE111 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 12 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Informationen über frühere Bekanntmachungen :
Kennung der vorherigen Bekanntmachung : 770072-2024

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 80
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Lieferzeit
Beschreibung : Lieferzeit
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 20
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Auftragsbedingungen :
Dieses Verfahren fällt unter die Verordnung zu ausländischen Subventionen (FSR) : nein
Informationen über die Überprüfungsfristen : Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe -
Informationen über die Überprüfungsfristen : Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 1 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0001

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Ramgraber GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : 1
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0001
Wert der Ausschreibung : 1 Euro
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante : nein
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : 1
Datum der Auswahl des Gewinners : 03/04/2025
Datum des Vertragsabschlusses : 15/04/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Bandbreite der Angebote :
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots : 1 Euro
Wert des höchsten zulässigen Angebots : 1 Euro
Statistiken über die strategische Auftragsvergabe :

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Registrierungsnummer : DE147794161
Postanschrift : Allmandring 30a
Stadt : Stuttgart
Postleitzahl : 70569
Land, Gliederung (NUTS) : Stuttgart, Stadtkreis ( DE111 )
Land : Deutschland
Telefon : 071186040681
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Registrierungsnummer : 08-A9866-40
Postanschrift : Durlacher Allee 100
Stadt : Karlsruhe
Postleitzahl : 76137
Land, Gliederung (NUTS) : Karlsruhe, Stadtkreis ( DE122 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 721926-8730
Fax : +49 721926-3985
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Ramgraber GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : DE812380571
Postanschrift : Pappelstraße 2
Stadt : Brunnthal-Hofolding
Postleitzahl : 85649
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Telefon : 08104 64 87 0
Fax : 08104 64 87 79
Internetadresse : http://www.ramgraber.de
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Staatsangehörigkeit des Eigentümers : Deutschland
Gewinner dieser Lose : LOT-0001

8.1 ORG-0004

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : e0fb1357-aaaa-4cc2-85b4-67c48eebc189 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 07/05/2025 17:29 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00299984-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 90/2025
Datum der Veröffentlichung : 12/05/2025