Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm …

CPV: 31712100 Macchinari e apparecchiature microelettronici
Luogo di esecuzione:
Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Ente di assegnazione:
CEA Grenoble
Numero di premio:
PN-B24-02260-CG

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm et au-delà. L'équipement devra également avoir la capacité à réaliser des dépôts sélectif de capping Co pour limiter la diffusion du cuivre. Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options suivantes : • Option : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement.
Identifiant de la procédure : 5485b0d9-6e61-4522-aff4-0eab39708919
Avis précédent : 479381-2024
Identifiant interne : PN-B24-02260-CG
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.2 Lieu d’exécution

Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France

2.1.4 Informations générales

Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Description : Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options suivantes : • Option : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option 6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement.
Identifiant interne : PN-B24-02260-CG

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.2 Lieu d’exécution

Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble Cedex 9
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires :

5.1.3 Durée estimée

Durée : 10 Mois

5.1.6 Informations générales

Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : La valeur "1,00" est uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Description : Prix de l’équipement : sur la base du prix de l’équipement de base, de la tranche optionnelle et des options avec chiffrage obligatoire mais hors options facultatives : 45%
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 45
Critère :
Type : Qualité
Description : Capacité à réaliser l’empilement de dépôts décrit dans le Procédé 3 (dépôt barrier/liner, TaN, Co, Cu seed, barrier/seed) : 30 %
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 30
Critère :
Type : Qualité
Description : Capacité à réaliser les autres procédés décrit dans les procédés 1, 4, 5 et 6 (dégazage, dépôt Co capping, dépôt SAM et dépôt AlCu) : 10 %
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 10
Critère :
Type : Qualité
Description : Qualité matérielle et configuration hardware : 10%
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 10
Critère :
Type : Qualité
Description : Capacité à réaliser le procédé de pre-clean (retrait CuOx) décrit dans le Procédé 2 : 5 %
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 5

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA Grenoble
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui signe le marché : CEA Grenoble

6. Résultats

Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis : 1 Euro

6.1 Résultat – Identifiants des lots : LOT-0001

Au moins un lauréat a été choisi.

6.1.2 Informations sur les lauréats

Lauréat :
Nom officiel : Applied Materials
Offre :
Identifiant de l’offre : PN-B24-02260-CG
Identifiant du lot ou groupe de lots : LOT-0001
Valeur de l'offre : 1 Euro
L’offre a été classée : oui
Place sur la liste des lauréats : 1
L’offre est une variante : non
Sous-traitance : Pas encore connu
Informations relatives au marché :
Identifiant du marché : PN-B24-02260-CG
Date de conclusion du marché : 07/08/2025
Organisation qui signe le marché : CEA Grenoble

6.1.4 Informations statistiques

Offres ou demandes de participation reçues :
Type de soumissions reçues : Offres présentées par voie électronique
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues : 1
Éventail d’offres :
Valeur de l’offre recevable la plus basse : 1 Euro
Valeur de l’offre recevable la plus élevée : 1 Euro

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Département : Isère
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Mme Clara GOGORIAN
Adresse électronique : clara.gogorian@cea.fr
Téléphone : 0660395146
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui signe le marché

8.1 ORG-0002

Nom officiel : GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 173800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.tagrenoble@juradm.fr
Téléphone : 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours

8.1 ORG-0003

Nom officiel : Applied Materials
Taille de l’opérateur économique : Grande
Numéro d’enregistrement : 38512486200033
Adresse postale : 864 chemin des Fontaines
Ville : Bernin
Code postal : 38190
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Rôles de cette organisation :
Soumissionnaire
Bénéficiaire effectif
Nom officiel : Applied Materials Applied Materials
Subdivision pays (NUTS) : FRK24
Pays : France
Lauréat de ces lots : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : a0ed4955-b73d-43ec-87cc-63083f54d784 - 01
Type de formulaire : Résultats
Type d’avis : Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 18/08/2025 12:50 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 00539939-2025
Numéro de publication au JO S : 157/2025
Date de publication : 19/08/2025