Resist/Polymer Coater (IZM-09.1) - PR888803-2590-P

Resist/Polymer Coater (IZM-09.1) Resist/Polymer Coater (IZM-09.1) 1 Resist / Polymer Coater: - Automatisiertes Resist Processing System mit vier Nassprozessmodulen - Automatisiertes Handling für 200mm, 150mm und 100mm Sechs Hotplate-Module - zwei hohe Lösemittelplatten -Eine HMDS-Dampfplatte Optionale Features: - Muss in der Lage sein, Systemkonfigurationen/Software zu ändern, um Wafer zu verarbeiten, …

CPV: 31712100 Mikroelektronikai gépek és berendezések
A végrehajtás helye:
Resist/Polymer Coater (IZM-09.1) - PR888803-2590-P
Díjat odaítélő szervezet:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Díj száma:
PR888803-2590-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Resist/Polymer Coater (IZM-09.1) - PR888803-2590-P
Beschreibung : Resist/Polymer Coater (IZM-09.1)
Kennung des Verfahrens : a77b0c1d-c75d-4aee-8b03-ba5ec40be717
Interne Kennung : PR888803-2590-P
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Berlin
Postleitzahl : 13355
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Resist/Polymer Coater (IZM-09.1) - PR888803-2590-P
Beschreibung : 1 Resist / Polymer Coater: - Automatisiertes Resist Processing System mit vier Nassprozessmodulen - Automatisiertes Handling für 200mm, 150mm und 100mm Sechs Hotplate-Module - zwei hohe Lösemittelplatten -Eine HMDS-Dampfplatte Optionale Features: - Muss in der Lage sein, Systemkonfigurationen/Software zu ändern, um Wafer zu verarbeiten, die aus einem Formmassenmaterial bestehen. Gesamtdicke bis zu 900µm Das System sollte in der Lage sein, Mold-Wafer zu handhaben und zu verarbeiten, wobei der Bogen dieser Wafer bis zu 2mm betragen kann - Möglichkeit, Kassetten mit weniger als 25 Steckplätzen zu laden und den Abstand zwischen den einzelnen Steckplätzen zu vergrößern - OPTIONS HANDLER für verzogene Wafer (2 mm Verzug eines 200 mm Substrats) - Die Software sollte den Anwender bei der Planung und Dokumentation der vorbeugenden Instandhaltung unterstützen und die Möglichkeit bieten, sie in ein lokales Netzwerk einzubinden - Das System verfügt über optionale Heizplatten mit hoher Verformung (d.h. die mit der großen Höhe/Volumen) - Das System verfügt über spezielle Funktionen, um die Kondensation von Lösemitteln in dickem Lack zu verhindern. - Einschließlich Option für 150 μm feste Abstandsstifte -Rezeptprogrammierbare Abluft und Abluftzyklus (ein/aus), der exakte Abluftwert muss manuell kontrollierbar sein - Einschließlich Option für 150 μm feste Abstandsstifte - Rezeptprogrammierbare Abluft und Abluftzyklus (ein/aus), der exakte Abluftwert muss manuell kontrollierbar sein - Einschließlich Option für 150 μm feste Abstandsstifte - Rezeptprogrammierbare Abluft und Abluftzyklus (ein/aus), der exakte Abluftwert muss manuell kontrollierbar sein - Einschließlich Option für 150 μm feste Abstandsstifte - Rezeptprogrammierbare Abluft und Abluftzyklus (ein/aus), der exakte Abluftwert muss manuell kontrollierbar sein
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 13 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technische Spezifikation
Beschreibung : Technische Spezifikation
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : EV Group E. Thallner GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 27/08/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 4
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 4
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 0
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 0

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : EV Group E. Thallner GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Großunternehmen
Registrierungsnummer : DE129477275
Postanschrift : Hartham 3
Stadt : Neuhaus am Inn
Postleitzahl : 94152
Land, Gliederung (NUTS) : Passau, Landkreis ( DE228 )
Land : Deutschland
Telefon : +43 77125311
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 7676312b-3839-4fc1-a542-b92a868ea94d - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 27/08/2025 14:07 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00562044-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 164/2025
Datum der Veröffentlichung : 28/08/2025