Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).

Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition) pour le développement des technologies CMOS et plus particulièrement des matériaux piézoélectriques. Il est destiné à réaliser les dépôts suivants : nitrure de Titane (TiN), oxyde d’indium-étain (ITO), nitrure d’aluminium scandium (ScAlN), nitrure d’aluminium …

CPV: 31712100 Mikroelektronički strojevi i aparati
mjesto izvršenja:
Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).
registar:
CEA/GRENOBLE
nagradni broj:
PN-B24-04530-ST

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).
Description : Le CEA Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition) pour le développement des technologies CMOS et plus particulièrement des matériaux piézoélectriques. Il est destiné à réaliser les dépôts suivants : nitrure de Titane (TiN), oxyde d’indium-étain (ITO), nitrure d’aluminium scandium (ScAlN), nitrure d’aluminium (AlN). Le marché envisagé comprend les tranches suivantes : Une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PLD. Le marché envisagé comprend également les options suivantes : Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau Options avec chiffrage facultatives : o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Possibilité d’upgrader l’équipement en 300 mm plus tard o OPT4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o OPT5 : Transformateur électrique o OPT6 : Transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant de la procédure : 84a27f98-e1b1-4dd6-9ce4-b7a40d3fe4c9
Avis précédent : 646732-2024
Identifiant interne : PN-B24-04530-ST
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée : non

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.2 Lieu d’exécution

Ville : Grenoble
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.

2.1.3 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 1 Euro

2.1.4 Informations générales

Informations complémentaires : Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi. Les cases relatives au montant du marché ont été complétées par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.
Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).
Description : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition) pour le développement des technologies CMOS et plus particulièrement des matériaux piézoélectriques. Il est destiné à réaliser les dépôts suivants : nitrure de Titane (TiN), oxyde d’indium-étain (ITO), nitrure d’aluminium scandium (ScAlN), nitrure d’aluminium (AlN). Le marché envisagé comprend les tranches suivantes : - Une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PLD. Le marché envisagé comprend également les options suivantes : Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau. Options avec chiffrage facultatives : o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Possibilité d’upgrader l’équipement en 300 mm plus tard o OPT4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o OPT5 : Transformateur électrique o OPT6 : Transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant interne : PN-B24-04530-ST

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.2 Lieu d’exécution

Ville : Grenoble
Code postal : 38000
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.6 Informations générales

Projet de passation de marché non financé par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : La valeur "1,00" est uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte. »

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché : CEA/GRENOBLE
Organisation qui exécute le paiement : CEA/GRENOBLE
Organisation qui signe le marché : CEA/GRENOBLE

6. Résultats

Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis : 1 Euro

6.1 Résultat – Identifiants des lots : LOT-0001

Au moins un lauréat a été choisi.

6.1.2 Informations sur les lauréats

Lauréat :
Nom officiel : LAM REASEARCH INTERNATIONAL
Offre :
Identifiant de l’offre : PN-B24-04530-ST
Identifiant du lot ou groupe de lots : LOT-0001
Valeur de l'offre : 1 Euro
L’offre a été classée : oui
Place sur la liste des lauréats : 1
L’offre est une variante : non
Sous-traitance : Pas encore connu
Informations relatives au marché :
Identifiant du marché : PN-B24-04530-ST
Date de conclusion du marché : 26/06/2025
Organisation qui signe le marché : CEA/GRENOBLE

6.1.4 Informations statistiques

Offres ou demandes de participation reçues :
Type de soumissions reçues : Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues : 1

8. Organisations

8.1 ORG-0003

Nom officiel : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 17800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville : GRENOBLE CEDEX
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone : 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours

8.1 ORG-0004

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 avenue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Syrga TURGANALIEVA
Adresse électronique : syrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone : 0438783071
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui signe le marché
Organisation qui exécute le paiement

8.1 ORG-0005

Nom officiel : LAM REASEARCH INTERNATIONAL
Taille de l’opérateur économique : Grande
Numéro d’enregistrement : 202001006985
Adresse postale : PMT 789 Persiaran Cassia Selatan 1, batu Kawan, Industrial Park
Ville : Penang
Code postal : 14110
Pays : Malaisie
Point de contact : Alain LAMAURY
Adresse électronique : alain.lamaury@lamresearch.com
Téléphone : 06 08 27 27 02
Rôles de cette organisation :
Soumissionnaire
Bénéficiaire effectif
Nom officiel : LAM REASEARCH INTERNATIONAL LAM REASEARCH INTERNATIONAL
Lauréat de ces lots : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : 0c8c59a3-8259-44c3-aacf-f19eebe069cb - 01
Type de formulaire : Résultats
Type d’avis : Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 02/09/2025 13:24 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 00577911-2025
Numéro de publication au JO S : 169/2025
Date de publication : 04/09/2025