Waferinspection (IZM-14.1) - PR958425-2590-P

Waferinspection (IZM-14.1) Waferinspection (IZM-14.1) 1 Stück: Waferinspection Die Messsysteme werden für folgende Aufgaben eingesetzt: - Messung der Durchbiegung, Verformung und Spannung von nackten Wafern sowie von Wafern mit aufgebrachten Schichten (Siliziumkomponenten oder Metallschichten) auf der Vorder- und/oder Rückseite, - Messung der Gesamtdicke und TTV von nackten Wafern, gebondeten Wafern, einzelnen …

CPV: 38552000 Electronic meters
Place of execution:
Waferinspection (IZM-14.1) - PR958425-2590-P
Awarding body:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Award number:
PR958425-2590-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Waferinspection (IZM-14.1) - PR958425-2590-P
Beschreibung : Waferinspection (IZM-14.1)
Kennung des Verfahrens : 6dc24205-4621-465a-b5be-312da3328072
Interne Kennung : PR958425-2590-P
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38552000 Elektronische Messgeräte

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Berlin
Postleitzahl : 13355
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Waferinspection (IZM-14.1) - PR958425-2590-P
Beschreibung : 1 Stück: Waferinspection Die Messsysteme werden für folgende Aufgaben eingesetzt: - Messung der Durchbiegung, Verformung und Spannung von nackten Wafern sowie von Wafern mit aufgebrachten Schichten (Siliziumkomponenten oder Metallschichten) auf der Vorder- und/oder Rückseite, - Messung der Gesamtdicke und TTV von nackten Wafern, gebondeten Wafern, einzelnen Stapeln von gebondeten Wafern wie Device- oder Handle-Wafern und Wafern mit abgeschiedenen Schichten, die optisch dick sind, - Messung der TSV von Trenches mit hohem Aspektverhältnis (mindestens 1:30). Das System muss mit einem Mustererkennungssystem für die Waferausrichtung und die Ausrichtung der Messstelle ausgestattet sein. Die Mustererkennungsfunktion muss im Messrezept aktiviert / deaktiviert werden im Messrezept aktiviert/deaktiviert werden. Die Maschine muss eine Kassette-zu-Kassette-Handhabung mit einer Ausrichtstation und einem Flipping-Modul bieten. Der Handler muss in der Lage sein, auch Wafer mit offenen Bereichen zu handhaben. Das Messsystem muss rückführbar auf ein nationales Normal wie PTB, NIST oder ein vergleichbares kalibriert sein. Eine manuelle Beladung der Wafer und die Messung nach einem Rezept muss ebenfalls möglich sein. Optionale Features: - Offline-Software zur Datenanalyse und -visualisierung verfügbar. (LV-Pos. 1.15) - Das System muss in der Lage sein, 300mm Wafer mit manueller Beladung zu messen. (LV-Pos. 3.12)
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38552000 Elektronische Messgeräte

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 9 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technische Ausführung
Beschreibung : Technische Ausführung
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Sentronics Metrology GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 19/08/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 0
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Sentronics Metrology GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer : DE248349505
Postanschrift : Dudenstraße 27-35
Stadt : Mannheim
Postleitzahl : 68167
Land, Gliederung (NUTS) : Mannheim, Stadtkreis ( DE126 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 62184251100
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : ac90b853-9fc1-49f9-8c86-d04ea50bab78 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 19/08/2025 08:35 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00543560-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 158/2025
Datum der Veröffentlichung : 20/08/2025