Wafer-Prober

Gegenstand dieses Verfahrens ist die Lieferung und Aufstellung ein vollautomatischen 200-mm-Wafer-Probers. Der Wafer Prober muss für den Dauerbetrieb ausgelegt sein und sollte über fortschrittliche Funktionen für die Handhabung von Wafern und Kassetten verfügen, um mehrere Wafer aufzunehmen und so den Durchsatz erheblich zu steigern. Diese Prüfstation muss für die Charakterisierung …

CPV: 31712000 Microelectronic machinery and apparatus and microsystems, 31712100 Microelectronic machinery and apparatus
Place of execution:
Wafer-Prober
Awarding body:
MemLog GmbH
Award number:
ML-25-1

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : MemLog GmbH
Rechtsform des Erwerbers : Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Wirtschaftliche Angelegenheiten

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Wafer-Prober
Beschreibung : Gegenstand dieses Verfahrens ist die Lieferung und Aufstellung ein vollautomatischen 200-mm-Wafer-Probers. Der Wafer Prober muss für den Dauerbetrieb ausgelegt sein und sollte über fortschrittliche Funktionen für die Handhabung von Wafern und Kassetten verfügen, um mehrere Wafer aufzunehmen und so den Durchsatz erheblich zu steigern. Diese Prüfstation muss für die Charakterisierung von Geräten, die Prüfung der elektrischen Zuverlässigkeit und spezielle Produktionsanwendungen optimiert sein und präzise elektrische Messungen über extrem rauscharme, Gleichstrom-, HF-, mmW- und THz-Frequenzen ermöglichen.
Kennung des Verfahrens : 1fcde90d-b4fc-4847-8ae9-e56532d116d0
Interne Kennung : ML-25-1
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712000 Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Zusätzliche Einstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Leipzig ( DED52 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXP4YWL5XVG
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Wafer-Prober
Beschreibung : Gegenstand dieses Verfahrens ist die Lieferung und Aufstellung ein vollautomatischen 200-mm-Wafer-Probers. Der Wafer Prober muss für den Dauerbetrieb ausgelegt sein und sollte über fortschrittliche Funktionen für die Handhabung von Wafern und Kassetten verfügen, um mehrere Wafer aufzunehmen und so den Durchsatz erheblich zu steigern. Diese Prüfstation muss für die Charakterisierung von Geräten, die Prüfung der elektrischen Zuverlässigkeit und spezielle Produktionsanwendungen optimiert sein und präzise elektrische Messungen über extrem rauscharme, Gleichstrom-, HF-, mmW- und THz-Frequenzen ermöglichen. Der Wafer-Prober sollte mit einem thermischen Chuck für elektrische Messungen und Fehleranalysen über einen breiten Temperaturbereich sowie mit einer Klimakammer für kontrollierte Testbedingungen ausgestattet sein. Das System muss vollautomatisch arbeiten, um eine schnelle, genaue Datenerfassung mit minimalen Rauschpegeln zu gewährleisten, und Technologien für Messungen mit geringer Leckage und geringer Kapazität enthalten. Zusätzlich sollte der Wafer Prober ein vielseitiges Mikroskop-Montagesystem für detaillierte Untersuchungen, eine Submikrometer-Positionierung für einen präzisen Sondenkontakt und eine nahtlose Integration mit Analysegeräten und Messsoftware umfassen. Eine effektive Lichtabschirmung ist notwendig, um Interferenzen zu minimieren und Genauigkeit zu gewährleisten, was für empfindliche optische Untersuchungen und Messungen von entscheidender Bedeutung ist. Mit automatisierten Wafer-Handhabungsoptionen und innovativen Automatisierungswerkzeugen sollte das System eine hochpräzise Fehleranalyse, IV/CV-Messungen und HF-, mmW- und THz-Frequenztests ermöglichen und eine flexible Lösung für aktuelle und zukünftige Halbleiterbauelemente bieten. Diese Konfiguration muss für den kontinuierlichen, unterbrechungsfreien Betrieb in anspruchsvollen 24/7-Fertigungsumgebungen einsatzbereit sein.
Interne Kennung : ML-25-1

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712000 Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Zusätzliche Einstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

5.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Leipzig ( DED52 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit : Unbekannt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 50
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technik/Qualität
Beschreibung : Erfüllung der B-Kriterien
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 30
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Lieferzeitpunkt
Beschreibung : Lieferzeitpunkt: 5 Monate oder weniger
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 10
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Wartungskonzept
Beschreibung : Wartungskonzept
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 5
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Gewährleistung
Beschreibung : Auswertung der Gewährleistungszeit gemäß dem Leistungsverzeichnis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 5

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Auftragsbedingungen :
Dieses Verfahren fällt unter die Verordnung zu ausländischen Subventionen (FSR) : nein

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : MemLog GmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Vergabekammern des Bundes

6. Ergebnisse

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0001

Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde : Entscheidung des Beschaffers aufgrund geänderter Anforderungen

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 2

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : MemLog GmbH
Registrierungsnummer : HRB41732
Postanschrift : 10967
Stadt : Leipzig
Postleitzahl : 04103
Land, Gliederung (NUTS) : Leipzig, Kreisfreie Stadt ( DED51 )
Land : Deutschland
Telefon : +491703770939
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : 53113
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : 022894990
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 177b0e19-0653-4040-aa5c-aa321116a703 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 25/06/2025 17:38 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00416834-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 121/2025
Datum der Veröffentlichung : 27/06/2025