Vacuum oven (IZM-11.1) - PR891128-2590-P

Vacuum oven (IZM-11.1) Vacuum oven (IZM-11.1) 2 Stk. Vakuumöfen: Der Polymeraushärtungsofen wird zum Aushärten (d. h. Polymerisieren) von Dünnschichtpolymeren auf Wafern verwendet. Der Ofen wird in der Lage sein, verschiedene Polymere auf verschiedenen Substraten wie Silizium-, Glas-, Verbund- und Keramikwafern mit einer Größe von 100 mm bis 200 mm (300 …

CPV: 42300000 Industrial or laboratory furnaces, incinerators and ovens
Place of execution:
Vacuum oven (IZM-11.1) - PR891128-2590-P
Awarding body:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Award number:
PR891128-2590-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Vacuum oven (IZM-11.1) - PR891128-2590-P
Beschreibung : Vacuum oven (IZM-11.1)
Kennung des Verfahrens : 5f92ef06-089d-4482-93b8-cf9388cc54d6
Interne Kennung : PR891128-2590-P
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42300000 Industrie- oder Laboratoriumsbrennöfen, Veraschungsöfen und Öfen

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Gustav-Meyer-Allee 25
Stadt : Berlin
Postleitzahl : 13355
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Vacuum oven (IZM-11.1) - PR891128-2590-P
Beschreibung : 2 Stk. Vakuumöfen: Der Polymeraushärtungsofen wird zum Aushärten (d. h. Polymerisieren) von Dünnschichtpolymeren auf Wafern verwendet. Der Ofen wird in der Lage sein, verschiedene Polymere auf verschiedenen Substraten wie Silizium-, Glas-, Verbund- und Keramikwafern mit einer Größe von 100 mm bis 200 mm (300 mm optional) zu verarbeiten. Der Ofen soll die Aushärtung im Vakuum unter Stickstoffatmosphäre mit Messung des Sauerstoffgehalts ermöglichen und ist in der Lage, Temperaturen bis zu 400 °C mit einer Temperaturgleichmäßigkeit von +/-5 K und steilen Heiz- und Kühlrampen zu erreichen. Die Aushärtung unter Vakuum ermöglicht niedrigere Aushärtungstemperaturen aufgrund einer geringeren Aktivierungsenergie sowie eine kürzere Verarbeitungszeit. Optionale Features: - Maschine MTBA (Mean Time Between Assist) > 24 h - Maschine MTBF (Mean Time Between Failure) > 300 h - Maschine MTTA (Mean time To Assist) < 10 min - Maschine MTTR (Mean Time To Repair) < 6 h - Betriebszeit der Maschine > 95 % - Das System muss über eine Datenprotokollierungsfunktion zur Aufzeichnung der Maschinenleistung und des Maschinenstatus verfügen (z. B. Startzeit, Endzeit, Anzahl der bearbeiteten Wafer, verwendete Gerätenummer). - Die Firmware muss in der Lage sein, Systemausfälle aufzuzeichnen (z. B. Fehlernummer, Fehlermeldung, Zeit der Fehlererzeugung, Wiederherstellungszeit). - Ein Sauerstoffsensor für Messungen bis zu 10 ppm. Die Daten müssen auf der Benutzeroberfläche angezeigt werden. - Edelstahl 25-Wafer 200mm Kassetten und Kassettengriffe - austauschbarer HEPA- bzw. Partikelfilter - inklusive Vakuumpumpe - Konvektionshärtung - Kühlrampen von ≥2,5K/min möglich - N2-Verbrauch während des gesamten PI-Härtungsprozesses (Referenzprozess: 3h@230°C mit <25ppm Sauerstoffgehalt während der Aushärtung) - Das Werkzeug sollte über eine automatische Sicherung des Betriebssystems, der Werkzeugeinstellungen, Rezepte und Daten verfügen. -Der Ausrüstungslieferant wird Schulungen für 2 Ingenieure anbieten. Am Ende der Schulung des Kundenpersonals muss eine Zertifizierung erreicht werden. Die folgenden detaillierten Punkte sollten Teil der Schulungen sein: - Verfahren zur Inbetriebnahme - Abschaltverfahren - Verwendung spezieller Maschinenfunktionen - Einstellung der Parameter - Einrichtung und Umstellung der Maschine - Interpretation von Fehlercodes und Behebungsverfahren - Detaillierte Fehlerbehebung und Störungsbeseitigung - Wartungsverfahren und -kontrollen - Programmierung von Rezepten
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42300000 Industrie- oder Laboratoriumsbrennöfen, Veraschungsöfen und Öfen

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 04/08/2025
Enddatum der Laufzeit : 08/08/2025

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : technische Ausführung
Beschreibung : technische Ausführung
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Direktvergabe :
Begründung der Direktvergabe : Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, weil er die Erschaffung oder den Erwerb eines einzigartigen Kunstwerks oder einer einzigartigen künstlerischen Leistung zum Ziel hat
Sonstige Begründung : s.h. Alleinstellung

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : JP Kummer Semiconductor Technology GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 27/06/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : JP Kummer Semiconductor Technology GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : DE815866740
Postanschrift : Steinerne Furt 78
Stadt : Augsburg
Postleitzahl : 86167
Land, Gliederung (NUTS) : Augsburg, Kreisfreie Stadt ( DE271 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 82199977399
Fax : +49 82199977391
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 432a4446-31fa-494e-97c1-aef0c03f82ca - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 30/06/2025 10:42 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00425658-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 123/2025
Datum der Veröffentlichung : 01/07/2025