Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

CPV: 31712100 Microelectronic machinery and apparatus
Deadline:
Oct. 13, 2025, noon
Deadline type:
Submitting a bid
Place of execution:
Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Awarding body:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Award number:
IHP-2025-049

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Beschreibung : Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Kennung des Verfahrens : 8b740511-adad-44f6-ae91-7cd2a3f4e82e
Interne Kennung : IHP-2025-049
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Im Technologiepark 25
Stadt : Frankfurt (Oder)
Postleitzahl : 15236
Land, Gliederung (NUTS) : Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt ( DE403 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYTAX6QWZH Project "APECS pilot line" Equipment procurement Special conditions for the tender Checks, Audits, and Investigations: The equipment is procured as part of the EU project "APECS pilot line". The EU Commission and/or the Chips Joint Undertaking (and/or other EU bodies), which is responsible for financing and the contracting authority may carry out audits of the procurement processes. To ensure that these conditions can be met, the following rules apply to suppliers/contractors: - The contractor must keep all original documents on a suitable medium, including digitized originals, for a period of five years from the date of payment of the final invoice, if permit-ted by national law. - The contractor must grant the client's employees and outside personnel authorized by the contracting authority the appropriate right of access to the sites and premises where the contract is being performed and to all information, including information in electronic form, that is necessary to carry out such checks and audits. The contractor must ensure that the information is readily available at the time of the inspection or audit and will be provided in an appropriate format upon request. - On the basis of the findings made during the audit, a provisional report is drawn up. The contracting authority or its authorised representative must send it to the contractor, who has 30 days following the date of receipt to submit observations. The contractor must re-ceive the final report within 60 days following the expiry of that deadline to submit obser-vations. - On the basis of the final audit findings, the contracting authority may recover all or part of the payments made in accordance with the relevant procedure and may take any other measure which it considers necessary. - In accordance with Council Regulation (Euratom, EC) No 2185/96 of 11 November 1996 con-cerning on-the-spot checks and inspection carried out by the Commission in order to pro-tect the European Communities" financial interests against fraud and other irregularities and Regulation (EU, Euratom) No 883/2013 of the European Parliament and the Council of 11 September 2013 concerning investigation conducted by the European Anti-Fraud Office , the European Anti-Fraud Office may carry out investigations, including on-the-spot checks and inspections, to establish whether there has been fraud, corruption or any other illegal activity under the contract affecting the financial interests of the Union. Findings arising from an investigation may lead to criminal prosecution under national law. - The investigations may be carried out at any moment during the provision of the services and up to five years starting from the payment of the balance. Terms of payment: 1. Down payment on order: 30% 2. Down payment on delivery: 40% Final payment after acceptance: 30% Bank guarantee: A bank guarantee must be provided for the amount of the first instalment. The bank guarantee may only expire after acceptance. Tool acceptance and final invoice/payment: The service/delivery is only complete upon acceptance. If provision has been made for a trial run, acceptance shall be pronounced by a joint acceptance certificate following a fault-free test run. The final instalment can be invoiced only after acceptance.
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Betrug :
Korruption :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Zahlungsunfähigkeit :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Beschreibung : Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Interne Kennung : IHP-2025-049

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Im Technologiepark 25
Stadt : Frankfurt (Oder)
Postleitzahl : 15236
Land, Gliederung (NUTS) : Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt ( DE403 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit : Unbekannt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : ja
Zusätzliche Informationen : #Besonders auch geeignet für:freelance#, #Besonders auch geeignet für:selbst#, #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung : Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Kriterium : Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung : Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen : 06/10/2025 23:59 +02:00

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit : Bank guarantee: A bank guarantee must be provided for the amount of the first instalment. The bank guarantee may only expire after acceptance.
Frist für den Eingang der Angebote : 13/10/2025 12:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 60 Tag
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : -
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 13/10/2025 12:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : -
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : ja
Finanzielle Vereinbarung : Terms of payment: 1. Down payment on order: 30% 2. Down payment on delivery: 40% Final payment after acceptance: 30% Tool acceptance and final invoice/payment: The service/delivery is only complete upon acceptance. If provision has been made for a trial run, acceptance shall be pronounced by a joint acceptance certificate following a fault-free test run. The final instalment can be invoiced only after acceptance.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Informationen über die Überprüfungsfristen : -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Registrierungsnummer : DE138996546
Postanschrift : Im Technologiepark 25
Stadt : Frankfurt (Oder)
Postleitzahl : 15236
Land, Gliederung (NUTS) : Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt ( DE403 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Beschaffung
Telefon : +49 335-5625337
Fax : +49 335-5625333
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Registrierungsnummer : t:0331866-1719
Postanschrift : Heinrich-Mann-Allee 107
Stadt : Potsdam
Postleitzahl : 14473
Land, Gliederung (NUTS) : Potsdam, Kreisfreie Stadt ( DE404 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 331866-1719
Fax : +49 331866-1652
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : b1494a5b-57bd-465a-8131-1780637cebc9 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 10/09/2025 16:03 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00596545-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 175/2025
Datum der Veröffentlichung : 12/09/2025