Pachet fotolitografie

“Pachetul de fotolitografie” este un ansamblu de sisteme constând dintr-un mask aligner și un sistem de nanoimprimare pentru realizarea de structuri simple/complexe de dimensiuni micronice până la dimensiuni nanometrice pe substraturi diferite folosind radiația UV. “Pachet fotolitografie” – 1 buc. Pachetul de fotolitografie trebuie să permită în mod eficient și …

CPV: 38636000 Specialist optical instruments, 51430000 Installation services of laboratory equipment, 80510000 Specialist training services
Deadline:
Nov. 10, 2025, 3 p.m.
Deadline type:
Submitting a bid
Place of execution:
Pachet fotolitografie
Awarding body:
INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Award number:
9068280_2025_PAAPD1571685

1. Cumpărător

1.1 Cumpărător

Denumire oficială : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Forma juridică a achizitorului : Organism de drept public, controlat de o autoritate guvernamentală centrală
Activitatea autorității contractante : Educație

2. Procedură

2.1 Procedură

Titlu : Pachet fotolitografie
Descriere : “Pachetul de fotolitografie” este un ansamblu de sisteme constând dintr-un mask aligner și un sistem de nanoimprimare pentru realizarea de structuri simple/complexe de dimensiuni micronice până la dimensiuni nanometrice pe substraturi diferite folosind radiația UV.
Identificatorul procedurii : 7aac39a7-5448-4958-ab57-816dc09622bf
Identificator intern : 9068280_2025_PAAPD1571685
Tip de procedură : Deschisă
Procedura este accelerată : nu

2.1.1 Scop

Natura contractului : Bunuri
Clasificarea principală ( cpv ): 38636000 Instrumente optice specializate

2.1.2 Locul de executare

Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Informații suplimentare : Str. Atomistilor, Nr. 405A, Magurele, Ilfov, Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Fizica Materialelor

2.1.3 Valoare

Valoarea estimată fără TVA : 3 747 408 Leu românesc

2.1.4 Informații generale

Informații suplimentare : Cerintele tehnice definite la nivelul anuntului de participare, caietului de sarcini sau altor documente complementare, prin trimiterea standardelor, la un anumit producator, la marci, brevete, tipuri, la o origine sau la o productie/metoda specifica de fabricatie/prestare/executie, vor fi intelese ca fiind insotite de mentiunea ”sau echivalent”. Numar zile pana la care se pot solicita clarificari inainte de data limita de depunere a ofertelor: 18 zile inainte de data limita pentru depunerea ofertelor. Termenul limita pana la care autoritatea contractanta va raspunde clar si complet solicitarilor de clarificari/informatii suplimentare: 10 zile inainte de termenul limita de depunere a ofertelor stabilit prin anuntul de participare. In situatia in care ofertantul declarat castigator va fi de alta nationalitate decat cea romana, modelul de contract de furnizare utilizat in prezenta procedura va fi tradus de autoritatea contractanta prin intermediul unui traducator autorizat, la solicitarea ofertantului, urmand a se incheia un contract cu continut bilingv romana-engleza. Perioada minima pe parcursul careia ofertantul trebuie sa isi mentina oferta este de 17 luni (510 zile) de la termenul limita de primire a ofertelor. Dacă două sau mai multe oferte primesc același punctaj PO, atunci va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mare punctaj obținut pentru parametrul tehnic suplimentar PT2 („Aparat care să permită acoperirea uniformă cu fotoresist a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm”), și dacă și acestea sunt egale va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mare punctaj obținut pentru parametrul tehnic PT1 („Plită pentru tratament termic care să permită tratarea uniformă a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm”). Dacă două sau mai multe oferte obțin atât un punctaj total PO, cât și punctaje PT2 și PT1 egale, atunci va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mare punctaj obținut la caracteristica tehnică suplimentară PT11 („Capacitatea Pachetului de fotolitografie de a atinge rezoluții de 0,5 μm în modul de expunere vacuum contact”). Dacă, și în acest caz, vor fi două sau mai mult oferte care obțin un punctaj egal, o nouă ofertă de preț va fi solicitată de la ofertanții respectivi și va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mic preț reofertat. Garantie de participare (continuare de la sectiunea III.1.6.a)): [...] In cazul depunerii de oferte in asociere, GP trebuie constituita in numele asocierii si sa mentioneze ca acopera in mod solidar toti membrii grupului de operatori ec. GP trebuie sa fie irevocabila si neconditionata. 3) Mod de prezentare: Instrumentul de garantare sau ordinul de virament se transmite în SEAP împreună cu oferta şi celelalte documente ale acesteia, cel mai târziu la data şi ora-limită de depunere a ofertelor, şi trebuie să prevadă că plata garanţiei de participare se va executa necondiţionat, respectiv la prima cerere a beneficiarului, pe baza declaraţiei acestuia cu privire la culpa persoanei garantate. Garantia de participare emisa in alta limba decat limba romana va fi insotita de traducerea autorizata in limba romana. 4) Perioada de valabilitate a garantiei de participare: 17 luni (510 zile) de la data limita pentru depunerea ofertelor (Perioada de valabilitate a garantiei de participare este cel putin egala cu perioada de valabilitate a ofertei). 5) Restituirea garantiei de participare: in conformitate cu art. 154 si art. 1541 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. 6) Retinerea garantiei de participare: in conformitate cu art. 37, alin. a), b), c), din H.G. nr. 395/2016 cu modificarile si completarile ulterioare: „(1) Autoritatea contractantă are obligaţia de a reţine garanţia de participare atunci când ofertantul se află în oricare dintre următoarele situaţii: a) îşi retrage oferta în perioada de valabilitate a acesteia; b) oferta sa fiind stabilită câştigătoare, nu constituie garanţia de bună execuţie; b1)[...]; c) oferta sa fiind stabilită câştigătoare, refuză să semneze contractul de achiziţie publică/acordul-cadru în perioada de valabilitate a ofertei.” Garantie de buna executie (continuare de la sectiunea III.1.6.b)): [...] În cazul depunerii de oferte în asociere, GBE trebuie constituita în numele asocierii si sa mentioneze ca acopera în mod solidar toti membrii grupului de operatori ec. GBE trebuie sa fie irevocabila si neconditionata. 3) Mod de prezentare: in conformitate cu prevederile art. 154 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. 4) Restituirea garantiei de buna executie: in conformitate cu prevederile art. 154 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. 5) Retinerea garantiei de buna executie: in conformitate cu prevederile art.41 din H.G. nr. 395/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. Principalele condiții de finanțare și modalități de plată și/sau trimitere la dispozițiile relevante care le reglementează (Text integral sectiunea III.1.7): Achizitorul efectueaza plata către furnizor , prin ordin de plată, în termen de 30 zile calendaristice de la primirea facturii emisa in baza procesului verbal de receptie si procesului verbal de instalare, punere in functiune si instruire personal încheiate fără obiecțiuni. Acest contract este finanțat din fonduri europene prin proiectul „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”, executarea contractului poate fi suspendată, prin notificare, pe perioadă determinată, de către MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE. Suspendarea va fi comunicată de către beneficiar, prin notificare scrisă, în termen de 24 de ore de la primirea înștiințării de la MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE. Executarea contractului se va relua după încetarea motivului suspendării.Reluarea executării contractului va fi comunicată de către beneficiar, prin notificare scrisă, în termen de 24 de ore de la primirea înștiințării. Plata aferentă contractului se va realiza de către autoritatea contractantă prin mecanismul cererilor de plată, în conformitate cu prevederile contractului de finanțare și ale legislației aplicabile privind implementarea proiectelor cu finanțare din fonduri europene. Furnizorul nu are dreptul să pretindă despăgubiri/penalități/daune interese în cazul suspendării executării contractului în situațiile mai sus menționate.
Temei juridic :
Directiva 2014/24/UE

2.1.6 Motive de excludere

Sursele motivelor de excludere : Anunț, Documentul european de achiziție unic (DEAU)
Participarea la o organizație criminală : Participare la o organizatie criminala
Corupție : Coruptie
Frauda : Frauda
Infracțiuni teroriste sau infracțiuni legate de activități teroriste : Infractiuni teroriste sau infractiuni legate de activitati teroriste
Combaterea spălării banilor sau a finanțării terorismului : Spalare de bani sau finantarea terorismului
Munca copiilor și alte forme de trafic de persoane : Exploatarea prin munca a copiilor si alte forme de trafic de persoane
Încălcarea obligației de plată a impozitelor : Plata impozitelor
Încălcarea obligației de plată a contribuțiilor la asigurările sociale : Plata asigurarilor sociale
Motive referitoare la situația operatorului economic : Informatii si formalitati necesare pentru evaluarea respectarii cerintelor mentionate: Ofertantii, tertii sustinatori si subcontractantii nu trebuie sa se regaseasca în situatiile prevazute la art.58-60 din Legea nr.98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. Modalitatea prin care poate fi demonstrata îndeplinirea cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire cu informatiile aferente situatiei lor. Ofertantii, tertii sustinatori si subcontractantii nu trebuie sa se regaseasca in situatiile prevazute art 164, 165 si 167 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. Modalitatea prin care poate fi demonstrata indeplinirea cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire cu informatiile aferente situatiei lor. Se vor depune, o data cu DUAE, urmatoarele documente: angajamentul ferm al tertului sustinator din care rezulta modul efectiv în care se va materializa sustinerea acestuia, acordul de subcontractare si/sau acordul de asociere, dupa caz. Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre operatorul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la analizarea evaluarii ofertelor. Aceste documente pot fi: 1.certificate constatatoare privind lipsa datoriilor restante cu privire la plata impozitelor, taxelor sau a contributiilor la bugetul general consolidate (buget local, buget de stat,etc)la momentul prezentarii; 2.certificat de atestare fiscala; 3.certificat de atestare fiscala pentru persoane juridice privind impozitele si taxele locale si alte venituri datorate bugetului local; 4.certificat de cazier fiscal; 5.cazierul judiciar al operatorului economic si al membrilor organului de administrare, de conducere sau de supraveghere al respectivului operator economic, sau a celor ce au putere de reprezentare, de decizie sau de control in cadrul acestuia, asa cum rezulta din certificatul constatator emis de ONRC/actul constitutiv; 6.dupa caz, documente prin care se demonstreaza faptul ca op.economic poate beneficia de derogari la art.166 alin.(2),art.167 alin.(2),art.171 din Lg 98/2016 privind achizitiile publice cu modificarile si completarile ulterioare; 7. alte documente edificatoare, dupa caz. Persoanele cu functie de decizie din cadrul autoritatii contractante în ceea ce priveste organizarea, derularea si finalizarea procedurii de atribuire sunt urmatoarele: Dr. Ionuț-Marius ENCULESCU, Dr. Lucian PINTILIE, Ec. Gabriela IVĂNUŞ, Dr. Oana RASOGA, Dr. Andreea COSTAS , Dr. Cristina BEȘLEAGĂ STAN, Dr. Carmen BREAZU, Dr. Alin VELEA, Dr. Ionel STAVARACHE, Florica FRUMOSU, Raluca NIȚU și Decebal-Adrian GHEORGHE. Se va completa DUAE conform art 193 alin. 1 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare. In cazul in care in tara de origine sau in tara in care este stabilit operatorul economic, nu se emit documente de tipul celor solicitate sau acestea nu vizeaza toate situatiile cuprinse la art. 164, art. 165 si art. 167, se accepta orice document considerat edificator emis de autoritatile competente din tara respectiva; Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condiţiile legii şi încărcate în SEAP în secţiunile specifice disponibile în sistemul informatic şi numai de către operatorii economici înregistraţi. Documentele emise in alta limba decat limba romana vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana. Nota 1:Oferta depusa de un ofertant care nu îndeplineşte unul sau mai multe dintre criteriile de calificare stabilite în documentaţia de atribuire sau nu a completat DUAE în conformitate cu cerinţele stabilite de autoritatea contractantă, va fi respinsa ca inacceptabila si neconforma.

5. Lot

5.1 Identificator tehnic pentru lot : LOT-0000

Titlu : Default lot
Descriere : “Pachet fotolitografie” – 1 buc. Pachetul de fotolitografie trebuie să permită în mod eficient și reproductibil (în configurația minimă solicitată) atât (1) realizarea de microstructuri prin fotolitografie clasică (convențională) cât și (2) realizarea de nanostructuri prin nanoimprimare care pot fi utilizate in aplicațiile de ultimă generație din domenii precum: micro- și nanoelectronicii, optoelectronicii, fotonicii, medical, etc. Pachetul poate fi compact sau poate fi modular, cu condiția să îndeplinească următoarele cerințe: (a) Pentru procesul de fotolitografiere convențională, capabilitate de realizare de microstructuri, atât pe substraturi rigide cât și pe substraturi flexibile de grosimi diferite utilizând diferite grosimi de fotorezist, cu o rezoluție de minim 4 μm și o precizie la aliniere de minim 1 µm; (b) Pentru procesul de nanoimprimare, capabilitate de realizare de nanostructuri având o rezoluție între 50 nm și 100 nm, pe substraturi rigide și flexibile de grosimi diferite utilizând diferite grosimi de fotorezist; Pachetul de fotolitografie trebuie să fie prevăzut cu: (i) software de comandă și control pentru definirea proceselor de iradiere dorite; (ii) sistem de aliniere, vital, pentru ambele tipuri de procese (fotolitografie și nanoimprimare); (iii) sistemul de iradiere bazat pe lampă de tip: LED cu radiație în domeniul UV ( lungimi de undă cuprinse în domeniul 300 nm - 450 nm). (iv) plită pentru tratament termic de până la 250°C . (v) facilitate/aparat (coater) care să permită acoperirea uniformă cu fotorezist a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm.
Identificator intern : 1

5.1.1 Scop

Natura contractului : Bunuri
Clasificarea principală ( cpv ): 38636000 Instrumente optice specializate
Clasificare suplimentară ( cpv ): 51430000 Servicii de instalare de echipament de laborator
Clasificare suplimentară ( cpv ): 80510000 Servicii de formare specializată

5.1.2 Locul de executare

Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Informații suplimentare : Str. Atomistilor, Nr. 405A, Magurele, Ilfov, Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Fizica Materialelor

5.1.3 Durata estimată

Durată : 17 Lună

5.1.4 Reînnoire

Numărul maxim de reînnoiri : 0

5.1.6 Informații generale

Participare rezervată : Participarea nu este rezervată.
Trebuie să fie specificate numele și calificările profesionale ale personalului însărcinat cu executarea contractului : Nu este obligatorie
Proiect de achiziții publice finanțat integral sau parțial din fonduri UE
Achiziția face obiectul Acordului privind achizițiile publice (AAP) : nu
Informații suplimentare : Program: Creștere Inteligentă, Digitalizare și Instrumente Financiare 2021-2027 Titlul proiectului: „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)” Cod SMIS: 304244; Contract numarul: G 2024-85828/390008/27.11.2024

5.1.9 Criterii de selecție

Sursele criteriilor de selecție : Anunț, Documentul european de achiziție unic (DEAU)
Criteriu : Înregistrare într-un registru comercial
Descriere : Informatii si formalitati necesare pentru evaluarea respectarii cerintelor mentionate: Operatorii economici ce depun oferta trebuie sa dovedeasca o forma de înregistrare în conditiile legii din tara de rezidenta, sa reiasa ca operatorul economic este legal constituit, ca nu se afla în niciuna dintre situatiile de anulare a constituirii precum si faptul ca are capacitatea profesionala de a realiza activitatile care fac obiectul contractului. Modalitatea de indeplinire a cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/ subcontractant) cu informatiile aferente situatiei lor. Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor. Aceste documente justificative pot fi: - certificat constatator emis de ONRC, sau - in cazul ofertantilor straini, documente echivalente emise in tara de rezidenta. Documentele constatatoare trebuie sa ateste ca obiectul contractului are corespondenta in activitatea ofertantului/ofertantului asociat/subcontractantului, pentru partea din contract pe care o realizeaza . Alte informatii minimale ce trebuie sa se regaseasca in documentul constatator sunt: - date de identificare legale (denumire, sediu, cod unic de inregistrare); - activitatile principale si secundare; - reprezentantii legali. Documentele emise in alta limba decat limba romana vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana. Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condiţiile legii şi încărcate în SEAP în secţiunile specifice disponibile în sistemul informatic şi numai de către operatorii economici înregistraţi.
Criteriu : Referințe despre livrări specificate
Descriere : Lista principalelor livrari de produse efectuate in ultimii 5 ani (calculati pana la data limita de depunere a ofertelor) din care sa rezulte ca a furnizat, instalat si pus in functiune cel putin un echipament de cercetare de laborator. Îndeplinirea acestui criteriu urmeaza a fi demonstrata prin prezentarea unuia sau mai multor contracte, insotita de certificate/documente emise sau contrasemnate de catre o autoritate sau de catre clientul beneficiar. În vederea asigurării unui nivel corespunzător de concurenţă, autoritatea contractantă a stabilit ca pot fi luate in considerare livrările de produse similare efectuate cu mai mult de 3 ani în urmă, intrucat la nivelul pieţei de profil relevante se înregistrează o cerere mică pentru asemenea produse şi/sau aceasta apare la intervale mari de timp datorită nivelului ridicat de tehnologizare şi/sau specializare precum si faptului că acestea se încadrează într-un segment de nişă sau au un ciclu lung de fabricaţie. În conformitate cu prevederile Instructiunii ANAP nr. 2/2017, art. 13 alin. (1) lit. b) și alin. (2), în cazul decalării termenului limită de depunere a ofertelor prevăzut inițial în anunțul de participare, se va proceda de catre autoritatea contractanta la publicarea în acest sens a unei erate, astfel ca limita inferioară a perioadei de 5 ani se va extinde cu perioada de timp aferentă decalării. Prin echipament de cercetare de laborator se intelege un echipament/instalatie care să permită/asigure, în mod eficient și reproductibil, atât realizarea de microstructuri prin fotolitografie clasică (convențională) cât și realizarea de nanostructuri prin nanoimprimare care pot fi utilizate in aplicațiile de ultimă generație din domenii precum: micro- și nanoelectronicii, optoelectronicii, fotonicii, medical, etc. Modalitatea de îndeplinire: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/tert sustinator) cu informaţii relevante care sa demonstreze realizarea plafoanelor cantitative impuse. La nivelul DUAE se vor preciza de către ofertanţi/ofertanti asociati/terți susținători urmatoarele informaţii:descriere- numărul şi data contractului invocat drept experienţă similară precum si denumirea acestuia, valoarea contractului fara TVA, data de începere și data de incheiere, beneficiarul acestuia şi datele sale de contact. Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor. Aceste documente justificative pot fi: document constatator /documente privind modul de indeplinire a obligatiilor contractuale emis de beneficiar/documente de receptie/documente de acceptanta finala a produselor si alte documente/certificate emise sau contrasemnate de o autoritate sau de catre clientul beneficiar final prin care se confirma livrarea-instalarea-punerea in functiune a produselor cu indicarea tipului si modelului de produs care a facut obiectul certificarii. Se vor lua in calcul contractele executate in calitate de contractant unic sau contractant asociat. In cazul in care activitatile prezentate ca experienta similara au fost realizate in cadrul unei asocieri, ofertantul va prezenta o copie a acordului de asociere sau alte documente relevante din care sa reiasa partea executata din respectivul contract. Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condițiile legii și încărcate în SEAP, în secțiunile specifice disponibile în sistemul informatic.
Criteriu : Înregistrare într-un registru comercial
Descriere : Operatorii economici ce depun ofertă trebuie să dovedească o formă de înregistrare în condițiile legii din țara de rezidență, să reiasă că operatorul economic este legal constituit, că nu se află în niciuna dintre situațiile de anulare a constituirii precum și faptul că are capacitatea profesională de a realiza activitățile care fac obiectul contractului. Modalitatea de indeplinire a cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/ subcontractant) cu informatiile aferente situatiei lor. Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor. Aceste documente justificative pot fi: - certificat constatator emis de ONRC, sau in cazul ofertantilor straini, documente echivalente emise in tara de rezidenta. Documentele constatatoare trebuie sa ateste ca obiectul contractului are corespondenta in activitatea ofertantului/ ofertantului asociat/ subcontractantului, pentru partea din contract pe care o realizeaza. Alte informatii minimale ce trebuie sa se regaseasca in documentul constatator sunt: - date de identificare legale (denumire, sediu, cod unic de inregistrare); - activitatile principale si secundare; - reprezentantii legali. Documentele se vor prezenta, in limba in care au fost emise, si vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana daca au fost emise in alta limba decat cea romana. Informațiile cuprinse în certificatul constatator sau în documentul echivalent trebuie să fie reale/actuale la momentul prezentării acestuia. În cazul asocierii mai multor persoane juridice, cerintele referitoare la capacitatea de exercitare a activității profesionale trebuie să fie îndeplinite de fiecare asociat în parte pentru partea din contract pe care o realizează.

5.1.10 Criterii de atribuire

Criteriu :
Tip : Preț
Denumire : Pretul ofertei
Descriere : Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) = (Pret minim ofertat / Pret n) x punctaj maxim alocat.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 40
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : Garanție extinsă (PG)
Descriere : Pentru oferirea unei garanții extinse de 36 de luni (peste cele 24 de luni obligatorii), pentru modulele de fotolitografie și nano-imprimare se vor acorda 10 puncte. Evaluarea punctajelor pentru garanție extinsă (PG), între 1 lună și 35 de luni, se va calcula prin regula de trei simplă prin proporționalitate directă față de punctajul maxim. Observație: Peste 60 de luni, garanția oferită nu se punctează suplimentar, punctajul rămânând de maxim 10 (zece) puncte.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 10
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT1
Descriere : Dacă, plita pentru tratament termic de până la 250°C care permite tratarea uniformă, cu o variație de ± 1°C, a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm, îndeplinește următoarele caracteristici suplimentare: (1) este prevăzută cu capac pentru a asigura o temperatură cât mai constantă (2p), (2) prezintă sistem de eliminare a solventului (2p), (3) are incorporat un controlor de temperatura și cronometru (2p), (4) prezintă sistem de purjare cu azot (1,5p), (5)plita să poată efectua simultan tratamente termice pentru patru substraturi cu diametrul de 100 mm (4 inch) (0.5p). Pentru îndeplinirea tuturor celor 5 caracteristici se acordă punctajul maxim, pentru îndeplinirea parțială a caracteristicilor se acordă punctele aferente fiecărei specificații îndeplinite.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 8
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT2
Descriere : In conformitate cu algoritmul de calcul de la pct. 14 din Caietul de sarcini - "Evaluarea ofertelor", pct III, PT2.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 20
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT3
Descriere : Deoarece micro-structurile fabricate în cadrul proiectului ”Platformă Națională pentru Tehnologiile Semiconductorilor” vor avea dimensiuni variate, de la minimul de rezoluție permis de echipament până la sute de micrometrii, este util să existe în dotarea echipamentului obiective cu diverse măriri pentru a eficientiza procesul de aliniere.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 1
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT4
Descriere : Pachetul de fotolitografie să permită alinierea (în ambele configurații, cu obiectivele plasate în partea superioară și în partea inferioară) și iradierea substraturilor cu diametrul de 200 mm (8 inch). O plachetă de 8 inch permite fabricarea unui număr mai mare de cipuri (structuri micrometrice) per plachetă, ceea ce reduce costul pe cip produs.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 2,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT5
Descriere : Pachetul de fotolitografie sa permită alinierea (în ambele configurații, cu obiectivele plasate în partea superioară și în partea inferioară) și iradierea substraturilor cu diametrul de 100 mm (4 inch). Acest modul este necesar pentru cazurile în care se dorește utilizarea măștilor deja existente la sediul beneficiarului, achiziționate pentru sistemul vechi operabil cu lampă de mercur.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 2,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT6
Descriere : Această facilitate ar oferi beneficiarului șansa de a utiliza măștile deja achiziționate și folosite pe un sistem mai vechi. Motivul principal este evitarea de costuri suplimentare, deoarece o matriță de nanoimprint poate ajunge în unele cazuri și la prețuri de peste 10.000 EURO.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 3,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT7
Descriere : Datorită multitudinii de aplicații și a problemelor anterior întâlnite în procesul de fabricare, se consideră utilă facilitatea de a putea lucra cu dimensiuni mici de substrat fără a periclita rezoluția proceselor dorite.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 1,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT8
Descriere : Utilizarea unui astfel de soft, ar permite operatorului un control mai bun asupra procesului cât și ar duce la o reducere a costurilor de materiale necesare utilizate în perioada de optimizare.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 0,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT9
Descriere : Diferite moduri de operare oferă utilizatorilor șansa de a utiliza o varietate mai mare de rețete, care ulterior pot duce la rezultate îmbunătățite.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 2,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT10
Descriere : Datorită complexității proceselor de fabricare care necesită o rezoluție cât mai bună, se consideră necesar dar nu obligatoriu ca pachetul de fotolitografie să poată iradia cu diferite lungimi de undă din domeniul UV, pentru a putea folosi o varietate largă de fotoreziști ce pot fi specifici pentru o anumită lungime de undă. Deoarece dimensiunile structurilor ce urmează a fi dezvoltate în cadrul proiectului ”Platformă Națională pentru Tehnologiile Semiconductorilor” sunt variate, este necesar să se asigure utilizarea unei game largi de fotorezisturi, garantând astfel fabricarea cu succes a tuturor structurilor proiectate pe substrat.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 1
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT11
Descriere : Pentru fiecare 0,1 μm sub valoarea de 1 μm se acordă 0,4p astfel încât, pentru o rezoluție de 0,5 μm să se ia punctajul maxim. Pentru o rezoluție mai bună decât cea minimală, de 1 μm, ofertantul trebuie să vină cu documente doveditoare, cât și să se asigure că poate îndeplini pe echipamentul ofertat sau la sediul beneficiarului această cerință. Se urmărește achiziționarea unui pachet de litografie care să corespundă standardelor de fabricare curente și care este compatibil cu caracteristicile sistemelor performante actuale de pe piață.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 2
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT12
Descriere : Pentru fiecare 5 nm sub valoarea de 50 nm se acordă 0,5 p astfel încât, pentru o rezoluție de 30 nm să se ia punctajul maxim. Pentru o rezoluție mai bună decât cea minimală, de 50 nm, ofertantul trebuie să vină cu documente doveditoare, cât și să se asigure că poate îndeplini pe echipamentul ofertat sau la sediul beneficiarului această cerință. Se urmărește achiziționarea unui pachet de litografie care să corespundă standardelor de fabricare curente și care este compatibil cu caracteristicile sistemelor performante actuale de pe piață.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 2
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT13
Descriere : Datorită dimensiunii reduse a Camerei galbene (Yellow room), se consideră necesar dar nu obligatoriu ca Modulul de nanoimprimare să poată fabrica măștile pornind de la matrițe, în interiorul echipamentului.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 1,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : PT14
Descriere : Se urmărește achiziționarea unui pachet de litografie care să corespundă standardelor de fabricare curente și care este compatibil cu caracteristicile sistemelor performante actuale de pe piață, pentru acest lucru este necesară o iluminare cât mai uniformă în timpul proceselor de fotolitografie și de nano-imprimare.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 1,5

5.1.11 Documentele achiziției

Unde se găsesc documentele achiziției : https://e-licitatie.ro/pub/notices/c-notice/v2/view/100200937

5.1.12 Condițiile achiziției publice

Condiții de depunere :
Depunere electronică : Obligatorie
Adresa de depunere : https://www.e-licitatie.ro
Limbile în care pot fi depuse ofertele sau cererile de participare : română
Catalog electronic : Nu este permisă
Variante : Nu este permisă
Termenul-limită pentru primirea ofertelor : 10/11/2025 15:00 +02:00
Termenul până la care oferta trebuie să rămână valabilă : 17 Lună
Informații privind deschiderea publică :
Data deschiderii : 10/11/2025 15:00 +02:00
Locul : In SEAP
Informații suplimentare : Membrii comisiei de evaluare si observatori ANAP.
Clauzele contractuale :
Executarea contractului trebuie efectuată în cadrul unor programe de angajare protejată : Nu
Facturare electronică : Obligatorie
Se va utiliza comanda electronică : nu
Se va utiliza plata electronică : da
Forma juridică pe care trebuie să o adopte un grup de ofertanți căruia i se atribuie un contract : Asociere conform art. 53. din Legea privind achizitiile publice nr 98/2016
Acord financiar : Plata către furnizor se face prin OP, în termen de 30 zile de la primirea facturii. Acest contract fiind finanțat din fonduri europene prin proiectul „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”, executarea acestuia poate fi suspendată, prin notificare, pe perioadă determinată, de către MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE. Executarea contractului se va relua după încetarea motivului suspendării. Plata aferentă contractului se va realiza de către autoritatea contractantă prin mecanismul cererilor de plată, în conformitate cu prevederile contractului de finanțare și ale legislației aplicabile privind implementarea proiectelor cu finanțare din fonduri europene. Furnizorul nu are dreptul să pretindă despăgubiri/penalități/daune interese în cazul suspendării executării contractului. Text integral in sect. VI.3 Informatii suplimentare.

5.1.15 Aspecte tehnice

Acord-cadru :
Niciun acord-cadru
Informații despre sistemul dinamic de achiziții :
Nu există un sistem dinamic de achiziție

5.1.16 Informații suplimentare, mediere și căi de atac

Organizația responsabilă cu căile de atac : Consiliul National de Solutionare a Contestatiilor
Informații privind termenele-limită pentru reexaminare : Eventualele contestatii se pot depune la Consiliul National de Solutionare a Contestatiilor/Organismele competente in conformitate cu Legea nr 101/2016
Organizația care furnizează informații suplimentare cu privire la procedura de achiziții : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Organizația care furnizează mai multe informații cu privire la căile de atac : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Organizația care primește cererile de participare : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Organizația care prelucrează ofertele : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR

8. Organizații

8.1 ORG-0004

Denumire oficială : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Număr de înregistrare : RO 9068280
Adresă poștală : Strada: Atomistilor , nr. 405A
Localitate : Magurele
Cod poștal : 077125
Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Punct de contact : Decebal-Adrian Gheorghe
Telefon : +40 213690185
Fax : +40 213690177
Adresa de internet : https://www.infim.ro
Profilul achizitorului : https://www.e-licitatie.ro
Rolurile acestei organizații :
Cumpărător
Organizația care furnizează informații suplimentare cu privire la procedura de achiziții
Organizația care primește cererile de participare
Organizația care prelucrează ofertele

8.1 ORG-0002

Denumire oficială : Consiliul National de Solutionare a Contestatiilor
Număr de înregistrare : 20329980
Adresă poștală : Str. Stavropoleos nr. 6, sector 3
Localitate : Bucuresti
Cod poștal : 030084
Subdiviziunea țării (NUTS) : Bucureşti ( RO321 )
Țara : România
Telefon : +40 213104641
Fax : +40 213104642
Adresa de internet : http://www.cnsc.ro
Rolurile acestei organizații :
Organizația responsabilă cu căile de atac

8.1 ORG-0005

Denumire oficială : INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Număr de înregistrare : RO 9068280_3
Adresă poștală : Strada: Atomistilor , nr. 405A
Localitate : Magurele
Cod poștal : 077125
Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Punct de contact : Decebal-Adrian Gheorghe
Telefon : +40 213690185
Fax : +40 213690177
Adresa de internet : https://www.infim.ro
Rolurile acestei organizații :
Organizația care furnizează mai multe informații cu privire la căile de atac

8.1 ORG-0001

Denumire oficială : Operator SEAP
Număr de înregistrare : RO42283735
Adresă poștală : Strada: Italiana, nr. 22, Sector: -, Judet: Bucuresti, Localitate: Bucuresti, Cod postal: -
Localitate : Bucuresti
Cod poștal : 020976
Subdiviziunea țării (NUTS) : Bucureşti ( RO321 )
Țara : România
Punct de contact : Roxana Popescu
Telefon : +40 213032997
Adresa de internet : https://www.adr.gov.ro/
Rolurile acestei organizații :
TED eSender

Informații privind anunțul

Identificatorul/versiunea anunțului : 3ed1ff51-db13-4588-82ff-d00ac65e71ab - 01
Tip de formular : Procedură concurențială
Tip de anunț : Anunț de participare sau de concesionare - regim standard
Data notificării expedierii : 02/10/2025 13:40 +03:00
Data de expediere a anunțului eSender : 02/10/2025 12:01 +03:00
Limbile în care acest anunț este disponibil oficial : română
Numărul de publicare al anunțului : 00648549-2025
Numărul ediției JO S : 190/2025
Data publicării : 03/10/2025