Echipament pentru nanolitografie

Obiectul contractului îl reprezinta achiziţia unui: Echipament de tip „sistem de litografie cu fascicul de electroni” (Electron Beam Lithography – EBL), sau "echipament pentru nanolitografie", cu fascicul gaussian și scanare vectorială, dedicat aplicațiilor de înaltă rezoluție și viteză. Sistemul trebuie să includă toate subsistemele necesare, precum și toate componentele software …

CPV: 38511000 Electron microscopes
Place of execution:
Echipament pentru nanolitografie
Awarding body:
I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
Award number:
2025 Anexa 27/14

1. Cumpărător

1.1 Cumpărător

Denumire oficială : I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
Forma juridică a achizitorului : Organism de drept public
Activitatea autorității contractante : Educație

2. Procedură

2.1 Procedură

Titlu : Echipament pentru nanolitografie
Descriere : Obiectul contractului îl reprezinta achiziţia unui: Echipament de tip „sistem de litografie cu fascicul de electroni” (Electron Beam Lithography – EBL), sau "echipament pentru nanolitografie", cu fascicul gaussian și scanare vectorială, dedicat aplicațiilor de înaltă rezoluție și viteză. Sistemul trebuie să includă toate subsistemele necesare, precum și toate componentele software și de control asistat de calculator necesare operării complete. Singurele utilități puse la dispoziție de către achizitor vor fi: alimentarea electrică, aerul comprimat curat (CDA) și azotul uscat. Echipamentul ce urmează a fi achiziționat va fi folosit exclusiv în scop de cercetare avansată în domeniul nanotehnologiilor, în special pentru structuri sub-10 nm și modele complexe pe substraturi de dimensiuni variate. Termenele in care autoritatea contractanta va raspunde in mod clar si complet tuturor solicitarilor de clarificare/informatiilor suplimentare solicitate de operatorii economici interesati: în a 11-a zi inainte de termenul limită stabilit în anunțul de participare pentru depunerea ofertelor. Numarul de zile pana la care se pot solicita clarificari, inainte de data limita de depunere a ofertelor este de 18 zile.
Identificatorul procedurii : 654f42b6-1886-4d7a-896a-5650d3a07144
Identificator intern : 2025 Anexa 27/14
Tip de procedură : Deschisă
Procedura este accelerată : nu

2.1.1 Scop

Natura contractului : Bunuri
Clasificarea principală ( cpv ): 38511000 Microscoape electronice

2.1.2 Locul de executare

Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Informații suplimentare : Str.Erou Iancu Nico;ae nr. 126A, Voluntari, Ilfov

2.1.4 Informații generale

Temei juridic :
Directiva 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identificator tehnic pentru lot : LOT-0000

Titlu : Default lot
Descriere : Achiziţia unui Echipament de tip „sistem de litografie cu fascicul de electroni” (Electron Beam Lithography – EBL), sau "echipament pentru nanolitografie", cu fascicul gaussian și scanare vectorială, dedicat aplicațiilor de înaltă rezoluție și viteză. Sistemul trebuie să includă toate subsistemele necesare, precum și toate componentele software și de control asistat de calculator necesare operării complete. Singurele utilități puse la dispoziție de către achizitor vor fi: alimentarea electrică, aerul comprimat curat (CDA) și azotul uscat. Echipamentul ce urmează a fi achiziționat va fi folosit exclusiv în scop de cercetare avansată în domeniul nanotehnologiilor, în special pentru structuri sub-10 nm și modele complexe pe substraturi de dimensiuni variate. Echipamentul va fi integrat în linia pilot de micro- și nanofabricare a dispozitivelor semiconductoare, în cadrul direcției de dezvoltare privind litografia de înaltă rezoluție. Configurația echipamentului este fundamentată pe specificațiile prevăzute în caietul de sarcini, elaborate pentru a răspunde cerințelor avansate de structurare la scară nanometrică, necesare procesării moderne în activitățile de CD în domeniul semiconductorilor. Litografia cu fascicul de electroni (EBL) este esențială pentru definirea cu precizie sub-20 nm a structurilor funcționale, fiind singura tehnologie fezabilă pentru prototiparea rapidă a dispozitivelor în regim de cercetare. Aceasta permite realizarea de structuri experimentale critice, utilizate în evaluarea performanțelor și în rafinarea modelelor tehnologice, inclusiv pentru validarea etapelor de proiectare și dezvoltare a circuitelor integrate în regim multi-layer. Echipamentul urmează a fi utilizat în vederea realizării de noi tipuri de dispozitive și prototipuri cu funcționalități extinse (ex: dispozitive electronice, senzori bazați pe fizici variate, componente fotonice integrate), în funcție de cerințele din cadrul proiectelor CDI naționale și europene.
Identificator intern : 1

5.1.1 Scop

Natura contractului : Bunuri
Clasificarea principală ( cpv ): 38511000 Microscoape electronice

5.1.2 Locul de executare

Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Informații suplimentare : Str.Erou Iancu Nico;ae nr. 126A, Voluntari, Ilfov

5.1.3 Durata estimată

Durată : 14 Lună

5.1.4 Reînnoire

Numărul maxim de reînnoiri : 0

5.1.6 Informații generale

Proiect de achiziții publice finanțat integral sau parțial din fonduri UE
Achiziția face obiectul Acordului privind achizițiile publice (AAP) : da

5.1.10 Criterii de atribuire

Criteriu :
Tip : Preț
Denumire : Pretul ofertei
Descriere : Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) = (Pret minim ofertat / Pret n) x punctaj maxim alocat.
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 25
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : Performanță litografică și precizie dimensională Această componentă evaluează capacitatea echipamentului pentru nanolitografie cu fascicul de electroni de a genera structuri de înaltă rezoluție cu precizie ridicată în poziționare și suprapunere în cadrul câmpurilor de expunere.
Descriere : A se vedea fișierul ”Anexa la fisa de date - Metodologia de calcul si evaluare pentru acordarea punctajelor fiecarui factor de evaluare”, atașat în secțiunea Documentatie de atribuire
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 20
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : Performanțele fasciculului și deflexiei. Această componentă evaluează performanțele de bază ale fasciculului de electroni utilizat pentru expunere și capacitatea sistemului de a controla cu precizie fasciculul în timpul scrierii.
Descriere : A se vedea fișierul ”Anexa la fisa de date - Metodologia de calcul si evaluare pentru acordarea punctajelor fiecarui factor de evaluare”, atașat în secțiunea Documentatie de atribuire
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 24
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : Dinamică, poziționare și stabilitate Această componentă evaluează capacitatea sistemului de a deplasa și poziționa precis eșantionul pe durata procesului litografic, precum și de a menține focalizarea în condiții variate de operare, inclusiv în aplicații ce implică expuneri extinse sau substraturi speciale.
Descriere : A se vedea fișierul ”Anexa la fisa de date - Metodologia de calcul si evaluare pentru acordarea punctajelor fiecarui factor de evaluare”, atașat în secțiunea Documentatie de atribuire
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 11,5
Criteriu :
Tip : Calitate
Denumire : Alte includeri Această componentă evaluează funcționalitățile suplimentare care sporesc versatilitatea, precizia și capacitățile de inspecție sau integrare ale sistemului de nanolitografie EBL. Aceste dotări contribuie la o utilizare mai eficientă și mai extinsă a sistemului, respectiv la optimizarea fluxului de proces și caracterizare
Descriere : A se vedea fișierul ”Anexa la fisa de date - Metodologia de calcul si evaluare pentru acordarea punctajelor fiecarui factor de evaluare”, atașat în secțiunea Documentatie de atribuire
Categorie a criteriului de atribuire prag : Ponderare (procentaj, valoare exactă)
Număr legat de criteriul de atribuire : 19,5

5.1.15 Aspecte tehnice

Acord-cadru :
Niciun acord-cadru
Informații despre sistemul dinamic de achiziții :
Nu există un sistem dinamic de achiziție

5.1.16 Informații suplimentare, mediere și căi de atac

Organizația responsabilă cu căile de atac : Consiliul National de Solutionare a Contestatiilor
Organizația care furnizează informații suplimentare cu privire la procedura de achiziții : I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
Organizația care furnizează mai multe informații cu privire la căile de atac : Serviciul juridic din cadrul INCD pentru Microtehnologie IMT Bucuresti

6. Rezultate

6.1 Rezultate: identificator lot : LOT-0000

Nu a fost ales un câștigător, iar procedura concurențială s-a încheiat.
Motivul pentru care nu a fost ales un câștigător : Toate ofertele, cererile de participare sau proiectele au fost retrase sau au fost considerate inadmisibile

6.1.4 Informații statistice

Oferte/ cereri de participare primite :
Tip de oferte primite : Oferte
Număr de oferte/cereri de participare primite : 1
Tip de oferte primite : Oferte de la ofertanți cu dimensiuni micro, mici sau mijlocii
Număr de oferte/cereri de participare primite : 1
Tip de oferte primite : Oferte depuse de ofertanți înregistrați în alte țări din Spațiul Economic European decât țara cumpărătorului
Număr de oferte/cereri de participare primite : 0
Tip de oferte primite : Oferte depuse de ofertanți înregistrați în țări din afara Spațiului Economic European
Număr de oferte/cereri de participare primite : 1
Tip de oferte primite : Oferte depuse pe cale electronică
Număr de oferte/cereri de participare primite : 1

8. Organizații

8.1 ORG-0004

Denumire oficială : I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
Număr de înregistrare : RO1154
Adresă poștală : Strada: Erou Iancu Nicolae, nr. 126A
Localitate : Voluntari
Cod poștal : 077190
Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Punct de contact : Marilena Oancea
Telefon : 0745999762
Fax : +40 2690772
Adresa de internet : https://www.imt.ro
Profilul achizitorului : https://www.e-licitatie.ro
Rolurile acestei organizații :
Cumpărător
Organizația care furnizează informații suplimentare cu privire la procedura de achiziții

8.1 ORG-0002

Denumire oficială : Consiliul National de Solutionare a Contestatiilor
Număr de înregistrare : 20329980
Adresă poștală : Str. Stavropoleos nr. 6, sector 3
Localitate : Bucuresti
Cod poștal : 030084
Subdiviziunea țării (NUTS) : Bucureşti ( RO321 )
Țara : România
Telefon : +40 21310464
Fax : +40 21310464
Adresa de internet : http://www.cnsc.ro
Rolurile acestei organizații :
Organizația responsabilă cu căile de atac

8.1 ORG-0005

Denumire oficială : Serviciul juridic din cadrul INCD pentru Microtehnologie IMT Bucuresti
Număr de înregistrare : RO1154_3
Adresă poștală : Adresa: Str. Erou Iancu Nicolae, Nr. 126A
Localitate : Voluntari
Cod poștal : 077190
Subdiviziunea țării (NUTS) : Ilfov ( RO322 )
Țara : România
Telefon : +40 21269077
Fax : +40 21269077
Adresa de internet : www.imt.ro
Rolurile acestei organizații :
Organizația care furnizează mai multe informații cu privire la căile de atac

8.1 ORG-0001

Denumire oficială : Operator SEAP
Număr de înregistrare : RO42283735
Adresă poștală : Strada: Italiana, nr. 22, Sector: -, Judet: Bucuresti, Localitate: Bucuresti, Cod postal: -
Localitate : Bucuresti
Cod poștal : 020976
Subdiviziunea țării (NUTS) : Bucureşti ( RO321 )
Țara : România
Punct de contact : Roxana Popescu
Telefon : +40 213032997
Adresa de internet : https://www.adr.gov.ro/
Rolurile acestei organizații :
TED eSender

Informații privind anunțul

Identificatorul/versiunea anunțului : 20a6167b-24ef-4a7d-8b20-21cfd2ae79b8 - 01
Tip de formular : Rezultat
Tip de anunț : Anunț de atribuire a contractului sau a concesiunii - regim standard
Data notificării expedierii : 19/09/2025 14:46 +03:00
Data de expediere a anunțului eSender : 19/09/2025 12:02 +03:00
Limbile în care acest anunț este disponibil oficial : română
Numărul de publicare al anunțului : 00617076-2025
Numărul ediției JO S : 181/2025
Data publicării : 22/09/2025