Dostawa dwóch reaktorów do epitaksji z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOVPE).

PLEASE SCROLL DOWN FOR THE ENGLISH VERSION Przedmiotem zamówienia jest sprzęt przeznaczony do wzrostu epitaksjalnego materiałów na bazie GaN (GaN, AlGaN, InGaN). Sprzęt składa się z konfiguracji 3x2” podłoża, systemu kontroli dostarczania materiałów źródłowych, który obejmuje 8 linii substancji metaloorganicznych (MO) (co najmniej 6 linii), 2 systemów linii wodorkowych, poziomego …

CPV: 38500000 Checking and testing apparatus, 38300000 Measuring instruments, 31700000 Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies
Place of execution:
Dostawa dwóch reaktorów do epitaksji z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOVPE).
Awarding body:
Instytut Wysokich Ciśnień Polskiej Akademii Nauk
Award number:
ZP-267/12/2024

1. Nabywca

1.1 Nabywca

Oficjalna nazwa : Instytut Wysokich Ciśnień Polskiej Akademii Nauk
Status prawny nabywcy : Podmiot prawa publicznego
Sektor działalności instytucji zamawiającej : Edukacja

2. Procedura

2.1 Procedura

Tytuł : Dostawa dwóch reaktorów do epitaksji z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOVPE).
Opis : PLEASE SCROLL DOWN FOR THE ENGLISH VERSION Przedmiotem zamówienia jest sprzęt przeznaczony do wzrostu epitaksjalnego materiałów na bazie GaN (GaN, AlGaN, InGaN). Sprzęt składa się z konfiguracji 3x2” podłoża, systemu kontroli dostarczania materiałów źródłowych, który obejmuje 8 linii substancji metaloorganicznych (MO) (co najmniej 6 linii), 2 systemów linii wodorkowych, poziomego reaktora z komorą rękawicową + komorą przelotową, strefowego oporowego systemu grzewczego, systemu pomp próżniowych, pełnego systemu bezpieczeństwa oraz komputerowego systemu do pomiarów i sterowania. Reaktor wymaga zastosowania typu kanału przepływu poziomego, który powinien być zbudowany z trzech części (początkowa, środkowa i końcowa), a część środkowa powinna być wymienna w celu ułatwienia konserwacji. Wtrysk gazu powinien być potrójny, aby kontrolować jednorodną fazę gazową. Wykonawca powinien dostarczyć następujące dane referencyjne: 1. Szybkość wzrostu powyżej 2 µm/h przy jednoczesnej niskiej koncentracji węgla (<10¹⁶ cm⁻³). 2. Aby kontrolować wysoką zawartość Al w zakresie 50 ~ 80%, utrzymywać stały stosunek V/III "powyżej 1400" oraz tempo wzrostu "powyżej 3 µm/h". 3. Warstwa AlN krystalizująca z tempem wzrostu powyżej 15 µm/h. 4. *n-, p-domieszkowane warstwy GaN, AlGaN, InGaN krystalizowane pod ciśnieniem atmosferycznym. ENGLISH VERSION The subject of the order is equipment used for epitaxial growth of GaN-based materials (GaN, AlGaN, InGaN). The Equipment consists of 3x2” wafer configuration, source material supply control system which includes 8 metalorganic (MO) line systems (at least 6 lines), 2 hydride line systems, a horizontal reactor with a glove-box + a pass-box, a resistance zone heating system, a vacuum pumping system, a full safety system, and a computer measuring and control system. Reactor requires Horizontal Flow channel type, those parts should be structured three parts (upstream, middle and downstream) and middle parts can be replacement for easy maintenance and gas injection should be triple flow Injected to control uniform gas phase. Contractor should supply the following reference data 1. Growth Rate over 2 um/h with low carbon concentration (<1016 cm-3) simultaneously 2. To control high Al content 50 ~ 80% range, keep constant V/III ratio “over 1400” and Growth Rate “over 3 um/h” 3. AlNlayer grown over 15 um/h as Growth Rate 4. *n-, p- doped GaN, AlGaN, InGaN able to growth under atmospheric pressure
Identyfikator procedury : 2b2e242d-e3b3-4831-bf65-6a2df46f77f5
Poprzednie ogłoszenie : 759520-2024
Wewnętrzny identyfikator : ZP-267/12/2024
Rodzaj procedury : Otwarta
Procedura jest przyspieszona : tak
Uzasadnienie procedury przyspieszonej : Zmawiający na podstawie z art. 138 ust. 4 Ustawy, skraca termin składania ofert do 30 dni od dnia przekazania ogłoszenia o zamówieniu Urzędowi Publikacji Unii Europejskiej, gdyż składanie ofert odbywa się w całości przy użyciu środków komunikacji elektronicznej, w sposób określony w art. 63 ust. 1 Pzp.
Główne aspekty procedury : 1. Oferta którą składa Wykonawca powinna zawierać: 1.1. Wypełniony formularz oferty - wzór-Załącznik nr 1 do SWZ. 1.2. Pełnomocnictwo w formie zgodnej z wymaganiem określonym w ust. 12.6 SWZ jeżeli ustanowiono pełnomocnika; 1.3. Odpis lub informacja z Krajowego Rejestru Sądowego, Centralnej Ewidencji i Informacji o działalności Gospodarczej lub innego właściwego rejestru w celu potwierdzenia, że osoba działająca w imieniu Wykonawcy jest umocowana do jego reprezentowania lub dane umożliwiające dostęp do tych dokumentów za pomocą bezpłatnych i ogólnodostępnych baz danych. 1.4. Oświadczenie, z którego wynika, że w stosunku do wykonawcy nie zachodzi podstawa wykluczenia przewidziana w art. 5k rozporządzenia 833/2014 w brzmieniu nadanym rozporządzeniem 2022/576 oraz art. 7 ust. 1 Ustawy z dnia 13 kwietnia 2022 r. o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałania wspieraniu agresji na Ukrainę oraz służących ochronie bezpieczeństwa narodowego (Dz. U. z 2022 r. poz. 835)- (wzór Zał. nr 2 do SWZ) 1.5. Przedmiotowe środki dowodowe, o których mowa w ust. 7.7 SWZ – specyfikacje techniczne. 2. Szczegółowe informacje o dokumentach składanych wraz z ofertą znajdują się w rozdziale 12 SWZ 3. Zamawiający wezwie Wykonawcę, którego oferta została najwyżej oceniona, do złożenia w wyznaczonym terminie, nie krótszym niż 10 dni od dnia wezwania, aktualnych na dzień złożenia następujących podmiotowych środków dowodowych: 3.1. informacji z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie art. 108 ust. 1 pkt 1 i 2 Ustawy oraz art. 108 ust. 1 pkt 4 Ustawy, dotyczącej orzeczenia zakazu ubiegania się o zamówienie publiczne tytułem środka karnego 3.2. oświadczenia Wykonawcy, w zakresie art. 108 ust. 1 pkt 5 ustawy Pzp, wzór - Zał. nr 3 do SWZ. 3.3 oświadczenia, o którym mowa w art. 125 ust. 1 oraz w pkt 7.8 SWZ – formularz JEDZ - wzór - Załącznik nr 5 do SWZ. Zgodnie z art. 139 ust 2 Zamawiający żąda powyższego oświadczenia wyłącznie od wykonawcy, którego oferta została najwyżej oceniona. 3.4. oświadczenia Wykonawcy o aktualności informacji zawartych w formularzu JEDZ, w zakresie podstaw wykluczenia z postępowania wskazanych przez Zamawiającego, o których mowa w: a) art. 108 ust. 1 pkt 3 Ustawy, b) art. 108 ust. 1 pkt 4 Ustawy, dotyczących orzeczenia zakazu ubiegania się o zamówienie publiczne tytułem środka zapobiegawczego, c) art. 108 ust. 1 pkt 5 Ustawy, dotyczących zawarcia z innymi wykonawcami porozumienia mającego na celu zakłócenie konkurencji, d) art. 108 ust. 1 pkt 6 Ustawy, (wzór – zał. nr 4 do SWZ) 3.5. oświadczenia, o którym mowa w art. 125 ust. 1 oraz w pkt 7.8 niniejszej SWZ – formularz JEDZ - wzór - Załącznik nr 5 do SWZ. Zgodnie z art. 139 ust 2 Zamawiający żąda powyższego oświadczenia wyłącznie od wykonawcy, którego oferta została najwyżej oceniona. 4. Wykonawca nie jest zobowiązany do złożenia podmiotowych środków dowodowych, jeżeli może je uzyskać za pomocą bezpłatnych i ogólnodostępnych baz danych, w szczególności rejestrów publicznych w rozumieniu ustawy z 17 lutego 2005 r. o informatyzacji działalności podmiotów realizujących zadania publiczne, o ile Wykonawca wskazał w oświadczeniu, o którym mowa w art. 125 ust. 1 ustawy – formularzu JEDZ, dane umożliwiające dostęp do tych środków 5. Jeżeli Wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej składa informacje wskazane w ust 7.3 SWZ. 6. W przypadku Wykonawców wspólnie ubiegających się o udzielenie zamówienia podmiotowe środki dowodowe - na potwierdzenie braku podstaw wykluczenia, składa każdy z Wykonawców występujących wspólnie. 7. Szczegółowe informacje na temat wymaganych oświadczeń, dokumentów, podmiotowych i przedmiotowych środków dowodowych znajdują się w rozdziale 7 SWZ 8. Zamawiający, zgodnie z art. 139 Ustawy, przewiduje odwróconą kolejność czynności. 9. Zamawiający może unieważnić postępowanie na podstawie art.257 ustawy. 10. Projektowane postanowienia umowy, w tym informacje na temat płatności stanowi Załącznik nr 6 do SWZ. 11. Postępowanie prowadzone jest w języku polskim i angielskim. Wszelkie oświadczenia, zawiadomienia będą sporządzane w języku polskim i angielskim. Umowa sporządzona będzie w języku polskim i angielskim. Zamawiający prowadzi postępowanie w dwóch językach zgodnie z art. 20 ust. 3 ustawy Pzp, z powodu możliwości poszerzenia kręgu wykonawców i z uwagi na specjalistyczny przedmiot zamówienia. W przypadku rozbieżności pomiędzy obiema wersjami językowymi rozstrzygająca będzie polska wersja językowa.

2.1.1 Przeznaczenie

Charakter zamówienia : Dostawy
Główna klasyfikacja ( cpv ): 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza
Dodatkowa klasyfikacja ( cpv ): 38300000 Przyrządy do pomiaru
Dodatkowa klasyfikacja ( cpv ): 31700000 Urządzenia elektroniczne, elektromechaniczne i elektrotechniczne

2.1.2 Miejsce realizacji

Adres pocztowy : Strużańska 8
Miejscowość : Stanisławów Pierwszy
Kod pocztowy : 05-126
Podpodział krajowy (NUTS) : Warszawski wschodni ( PL912 )
Kraj : Polska

2.1.4 Informacje ogólne

Informacje dodatkowe : 1. W celu wykazania, że brak jest podstaw do wykluczenia z postępowania, Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona, zobowiązany jest złożyć Jednolity Europejski Dokument Zamówienia ( JEDZ) wzór - Załącznik nr 5 do SWZ. Zgodnie z art. 139 ust 2 Zamawiający żąda powyższego oświadczenia wyłącznie od wykonawcy, którego oferta została najwyżej oceniona. 2. Źródło podstaw wykluczenia - dokumenty zamówienia punkt 5 SWZ.
Podstawa prawna :
Dyrektywa 2014/24/UE
Art. 132 ustawy Prawo zamówień publicznych - Przetarg nieograniczony

5. Część zamówienia

5.1 Techniczny ID partii : LOT-0001

Tytuł : Dostawa dwóch reaktorów do epitaksji z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOVPE).
Opis : PLEASE SCROLL DOWN FOR THE ENGLISH VERSION Przedmiotem zamówienia jest sprzęt przeznaczony do wzrostu epitaksjalnego materiałów na bazie GaN (GaN, AlGaN, InGaN). Sprzęt składa się z konfiguracji 3x2” podłoża, systemu kontroli dostarczania materiałów źródłowych, który obejmuje 8 linii substancji metaloorganicznych (MO) (co najmniej 6 linii), 2 systemów linii wodorkowych, poziomego reaktora z komorą rękawicową + komorą przelotową, strefowego oporowego systemu grzewczego, systemu pomp próżniowych, pełnego systemu bezpieczeństwa oraz komputerowego systemu do pomiarów i sterowania. Reaktor wymaga zastosowania typu kanału przepływu poziomego, który powinien być zbudowany z trzech części (początkowa, środkowa i końcowa), a część środkowa powinna być wymienna w celu ułatwienia konserwacji. Wtrysk gazu powinien być potrójny, aby kontrolować jednorodną fazę gazową. Wykonawca powinien dostarczyć następujące dane referencyjne: 1. Szybkość wzrostu powyżej 2 µm/h przy jednoczesnej niskiej koncentracji węgla (<10¹⁶ cm⁻³). 2. Aby kontrolować wysoką zawartość Al w zakresie 50 ~ 80%, utrzymywać stały stosunek V/III "powyżej 1400" oraz tempo wzrostu "powyżej 3 µm/h". 3. Warstwa AlN krystalizująca z tempem wzrostu powyżej 15 µm/h. 4. *n-, p-domieszkowane warstwy GaN, AlGaN, InGaN krystalizowane pod ciśnieniem atmosferycznym. ENGLISH VERSION The subject of the order is equipment used for epitaxial growth of GaN-based materials (GaN, AlGaN, InGaN). The Equipment consists of 3x2” wafer configuration, source material supply control system which includes 8 metalorganic (MO) line systems (at least 6 lines), 2 hydride line systems, a horizontal reactor with a glove-box + a pass-box, a resistance zone heating system, a vacuum pumping system, a full safety system, and a computer measuring and control system. Reactor requires Horizontal Flow channel type, those parts should be structured three parts (upstream, middle and downstream) and middle parts can be replacement for easy maintenance and gas injection should be triple flow Injected to control uniform gas phase. Contractor should supply the following reference data 1. Growth Rate over 2 um/h with low carbon concentration (<1016 cm-3) simultaneously 2. To control high Al content 50 ~ 80% range, keep constant V/III ratio “over 1400” and Growth Rate “over 3 um/h” 3. AlNlayer grown over 15 um/h as Growth Rate 4. *n-, p- doped GaN, AlGaN, InGaN able to growth under atmospheric pressure
Wewnętrzny identyfikator : ZP-267/12/2024

5.1.1 Przeznaczenie

Charakter zamówienia : Dostawy
Główna klasyfikacja ( cpv ): 38500000 Aparatura kontrolna i badawcza
Dodatkowa klasyfikacja ( cpv ): 38300000 Przyrządy do pomiaru
Dodatkowa klasyfikacja ( cpv ): 31700000 Urządzenia elektroniczne, elektromechaniczne i elektrotechniczne

5.1.2 Miejsce realizacji

Adres pocztowy : Strużańska 8
Miejscowość : Stanisławów Pierwszy
Kod pocztowy : 05-126
Podpodział krajowy (NUTS) : Warszawski wschodni ( PL912 )
Kraj : Polska
Informacje dodatkowe :

5.1.3 Szacowany okres obowiązywania

Data początkowa : 14/02/2025
Okres obowiązywania : 10 Miesiąc

5.1.6 Informacje ogólne

Projekt zamówienia w pełni lub częściowo finansowany z funduszy UE
Zamówienie jest objęte zakresem Porozumienia w sprawie zamówień rządowych (GPA) : tak
Informacje dodatkowe : "Data początkowa" z punktu 5.1.3 "Szacowany okres obowiązywania" jest datą orientacyjną terminu podpisania umowy. Termin wykonania zamówienia: do 15.12.2025.

5.1.10 Kryteria udzielenia zamówienia

Kryterium :
Rodzaj : Cena
Opis : Kryterium Cena oferty brutto (KC)
Kategoria kryterium udzielenia zamówienia próg : Waga (wartość punktowa, dokładna)
Kryterium udzielenia - Liczba : 60
Kryterium :
Rodzaj : Jakość
Opis : Okres gwarancji
Kategoria kryterium udzielenia zamówienia próg : Waga (wartość punktowa, dokładna)
Kryterium udzielenia - Liczba : 40

5.1.15 Techniki

Umowa ramowa :
Brak umowy ramowej
Informacje o dynamicznym systemie zakupów :
Brak dynamicznego systemu zakupów

5.1.16 Dalsze informacje, mediacja i odwołanie

Organ odwoławczy : Krajowa Izba Odwoławcza
Informacje o terminach odwołania : 1.Środki ochrony prawnej przysługują Wykonawcy lub innemu podmiotowi, jeżeli ma lub miał interes w uzyskaniu zamówienia oraz poniósł lub może ponieść szkodę w wyniku naruszenia przez Zamawiającego przepisów ustawy pzp. 2.Środki ochrony prawnej wobec ogłoszenia wszczynającego postępowanie o udzielenie zamówienia lub ogłoszenia w konkursie przysługują również organizacjom wpisanym na listę, o której mowa w art. 469 pkt 15 ustawy pzp oraz Rzecznikowi Małych i Średnich Przedsiębiorców. 3.Odwołanie przysługuje na: 3.1 niezgodną z przepisami ustawy pzp czynność Zamawiającego, podjętą w postępowaniu o udzielenie zamówienia, w tym na projektowane postanowienie umowy; 3.2 zaniechanie czynności w postępowaniu o udzielenie zamówienia, do której Zamawiający był obowiązany na podstawie ustawy pzp. 4. Odwołanie wnosi się do Prezesa Krajowej Izby Odwoławczej. Odwołujący przekazuje kopię odwołania Zamawiającemu przed upływem terminu do wniesienia odwołania w taki sposób, aby mógł on zapoznać się z jego treścią przed upływem tego terminu. 5.Odwołanie wobec treści ogłoszenia lub treści SWZ wnosi się w terminie 10 dni od dnia publikacji ogłoszenia w Dzienniku Urzędowym Unii Europejskiej lub zamieszczenia dokumentów zamówienia na stronie internetowej. 6.Odwołanie wnosi się w terminie: 6.1 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej; 6.2 15 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana w sposób inny niż określony w pkt 6.1. 7.Odwołanie w przypadkach innych niż określone w ust. 5 i 6 wnosi się w terminie 10 dni od dnia, w którym powzięto lub przy zachowaniu należytej staranności można było powziąć wiadomość o okolicznościach stanowiących podstawę jego wniesienia 8.Na orzeczenie Krajowej Izby Odwoławczej oraz postanowienie Prezesa Krajowej Izby Odwoławczej, o którym mowa w art. 519 ust. 1 ustawy pzp, stronom oraz uczestnikom postępowania odwoławczego przysługuje skarga do sądu. Skargę wnosi się do Sądu Okręgowego w Warszawie za pośrednictwem Prezesa Krajowej Izby Odwoławczej. 9.Szczegółowe informacje dotyczące środków ochrony prawnej określone są w Dziale IX „Środki ochrony prawnej” ustawy pzp.
Organizacja udzielająca dodatkowych informacji na temat procedur odwoławczych : Krajowa Izba Odwoławcza

6. Wyniki

Wartość wszystkich umów przyznanych w tym zawiadomieniu : 15 000 000 Złoty

6.1 Wyniki – ID części zamówienia : LOT-0001

Wyłoniono co najmniej jednego zwycięzcę.

6.1.2 Informacje o zwycięzcach

Zwycięzca :
Oficjalna nazwa : Kanematsu Corporation
Oferta :
Identyfikator oferty : Oferta Kanematsu
Identyfikator części zamówienia lub grupy części : LOT-0001
Wartość przetargu : 15 000 000 Złoty
Podwykonawstwo : Nie
Informacje dotyczące zamówienia :
Identyfikator umowy : Umowa ZP-267/12/2024
Tytuł : Dostawa dwóch reaktorów do epitaksji z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOVPE)
Data wyboru zwycięzcy : 18/02/2025
Data zawarcia umowy : 20/08/2025
Informacje o funduszach Unii Europejskiej
Identyfikator funduszy UE : Wsparcie bezzwrotne z planu rozwojowego w ramach inwestycji: A2.4.1 Inwestycje w rozbudowę potencjału badawczego KRAJOWEGO PLANU ODBUDOWY I ZWIĘKSZANIA ODPORNOŚCI Nr Umowy o objęcie przedsięwzięcia wsparciem: KPOD.01.18-IW.03-0005/23

6.1.4 Informacje statystyczne

Otrzymane oferty lub wnioski o dopuszczenie do udziału :
Rodzaj otrzymanych ofert lub wniosków : Oferty złożone drogą elektroniczną
Liczba otrzymanych ofert lub wniosków o dopuszczenie do udziału : 1
Zakres ofert :
Wartość najniższej dopuszczalnej oferty : 15 000 000 Złoty
Wartość najwyższej dopuszczalnej oferty : 15 000 000 Złoty

8. Organizacje

8.1 ORG-0001

Oficjalna nazwa : Instytut Wysokich Ciśnień Polskiej Akademii Nauk
Numer rejestracyjny : 015825134
Adres pocztowy : ul. Sokołowska 29/37
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 01-142
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Punkt kontaktowy : Dział zamówień publicznych
Telefon : +48226323628
Adres strony internetowej : http://www.unipress.waw.pl
Role tej organizacji :
Nabywca

8.1 ORG-0002

Oficjalna nazwa : Krajowa Izba Odwoławcza
Numer rejestracyjny : 010828091
Departament : Krajowa Izba Odwoławcza
Adres pocztowy : ul. Postępu 17a
Miejscowość : Warszawa
Kod pocztowy : 02-676
Podpodział krajowy (NUTS) : Miasto Warszawa ( PL911 )
Kraj : Polska
Punkt kontaktowy : Krajowa Izba Odwoławcza
Telefon : +48 224587801
Faks : +48 224587800
Adres strony internetowej : https://www.uzp.gov.pl/kio
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL) : https://www.uzp.gov.pl/kio/kontakt
Role tej organizacji :
Organ odwoławczy
Organizacja udzielająca dodatkowych informacji na temat procedur odwoławczych

8.1 ORG-0003

Oficjalna nazwa : Kanematsu Corporation
Wielkość podmiotu gospodarczego : Średnie
Numer rejestracyjny : JP-JCN:7140001005647
Adres pocztowy : 7-2 Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku
Miejscowość : Tokyo
Kod pocztowy : 100-7017
Kraj : Japonia
Role tej organizacji :
Oferent
Zwycięzca tych części zamówienia : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Oficjalna nazwa : Publications Office of the European Union
Numer rejestracyjny : PUBL
Miejscowość : Luxembourg
Kod pocztowy : 2417
Podpodział krajowy (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Kraj : Luksemburg
Telefon : +352 29291
Adres strony internetowej : https://op.europa.eu
Role tej organizacji :
TED eSender

Informacje o ogłoszeniu

Identyfikator/wersja ogłoszenia : abf0077e-aa75-40ce-8d24-70523f5023ce - 01
Typ formularza : Wyniki
Rodzaj ogłoszenia : Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia lub ogłoszenie o udzieleniu koncesji – tryb standardowy
Ogłoszenie – data wysłania : 01/09/2025 12:50 +00:00
Języki, w których przedmiotowe ogłoszenie jest oficjalnie dostępne : polski
Numer publikacji ogłoszenia : 00569798-2025
Numer wydania Dz.U. S : 167/2025
Data publikacji : 02/09/2025