DirectWriterLaser (HHI-06.2) - PR880006-3240-P

DirectWriterLaser (HHI-06.2) DirectWriterLaser 1 Stück DirectWriterLaser DirectWriteLaser-System für die flexible, genaue und reproduzierbare Prozesskette für die heterogene Chiplet-Integration mit Mehrmaterialfähigkeit auf Materialgrößen bis zu 200 mm, hauptsächlich auf LNOI- und III/V-Materialien wie InP. DirectWriteLaser-Systeme ermöglichen die schnelle und kostengünstige Erzeugung binärer und vertikaler 3D-Resiststrukturen direkt auf dem Wafer und überwinden …

CPV: 31712330 Semiconductors
Place of execution:
DirectWriterLaser (HHI-06.2) - PR880006-3240-P
Awarding body:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Award number:
PR880006-3240-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : DirectWriterLaser (HHI-06.2) - PR880006-3240-P
Beschreibung : DirectWriterLaser (HHI-06.2)
Kennung des Verfahrens : 8cd94fbb-ac73-47b7-a9eb-57f3f3c1f191
Interne Kennung : PR880006-3240-P
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712330 Halbleiter

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : Berlin
Postleitzahl : 10587
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : DirectWriterLaser (HHI-06.2) - PR880006-3240-P
Beschreibung : 1 Stück DirectWriterLaser DirectWriteLaser-System für die flexible, genaue und reproduzierbare Prozesskette für die heterogene Chiplet-Integration mit Mehrmaterialfähigkeit auf Materialgrößen bis zu 200 mm, hauptsächlich auf LNOI- und III/V-Materialien wie InP. DirectWriteLaser-Systeme ermöglichen die schnelle und kostengünstige Erzeugung binärer und vertikaler 3D-Resiststrukturen direkt auf dem Wafer und überwinden dabei Einschränkungen und Verzögerungen der normalerweise benötigten physischen Masken/Retikel. Optionen: 3.1. Schreibmodus mit hoher Auflösung für Strukturen kleiner als 1 µm 3.2. Schreibmodus mit geringer Auflösung für Strukturen im bereich um 4 µm 3.3 Software Package zur Datenvorbereitung (HIMT) 3.4 Erweiterte Möglichkeit der Datenaufbereitung und Korrekturen (Binär- und Grauton) mit einer geeigneten Software, inklusive der Generierung von Belichtungsdaten im Binär-Anlagenformat. 3.5 Verlängerung der Gewährleistung um 12 Monate 3.6 Verlängerung der Gewährleistung um 24 Monate
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712330 Halbleiter

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 15 Monat

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technische Ausführung
Beschreibung : Technische Ausführung
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 12/08/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 0

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Großunternehmen
Registrierungsnummer : DE 143445073
Postanschrift : Mittelgewannweg 27
Stadt : Heidelberg
Postleitzahl : 69123
Land, Gliederung (NUTS) : Heidelberg, Stadtkreis ( DE125 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 62217288990
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : acd33650-7d54-4faa-830e-0724ba105b7f - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 12/08/2025 11:16 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00531005-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 154/2025
Datum der Veröffentlichung : 13/08/2025