Beschaffung Reactive Ion Etching System

Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE). Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen …

CPV: 31712100 Microelectronic machinery and apparatus
Place of execution:
Beschaffung Reactive Ion Etching System
Awarding body:
Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Award number:
MPG_MPICPFS-2025-0008

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Rechtsform des Erwerbers : Gruppe öffentlicher Stellen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Beschaffung Reactive Ion Etching System
Beschreibung : Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE).
Kennung des Verfahrens : 37ffec1a-be1a-445f-ac9e-3631c8fd4cdf
Interne Kennung : MPG_MPICPFS-2025-0008
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein
Begründung des beschleunigten Verfahrens :
Zentrale Elemente des Verfahrens :

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Nöthnitzer Str. 40
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Beschaffung Reactive Ion Etching System
Beschreibung : Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen wir ein RIE-System, das ein kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglicht. Der zukünftige Einsatzschwerpunkt liegt auf der beschädigungsfreien Strukturierung von empfindlichen, einschichtigen Proben sowie der Übertragung lithografischer Maskenmuster auf nanoskaliger Ebene. Ziel ist es, durch den Einsatz von RIE unter anderem Elektrodenstrukturen auf 2D-Materialien mit hoher Prä-zision und Reproduzierbarkeit herzustellen.
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 18/06/2025
Enddatum der Laufzeit : 31/12/2025

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Erfüllung der Mindestanforderungen aus Leistungsbeschreibung
Beschreibung : Ausschlusskriterium
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 0
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Angebotspreis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 100
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann :
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde :

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Schlichtungsstelle : Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern -
Überprüfungsstelle : Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe -
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe -

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Electron-Mec
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 18/06/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Registrierungsnummer : DE129517720
Postanschrift : Nöthnitzer Str. 40
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf
Telefon : +4935146464601
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer : -
Postanschrift : Maximilian Str. 39
Stadt : München
Postleitzahl : 80538
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89-2176-0
Fax : +49 89-2176-2914
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Registrierungsnummer : DE129517720
Postanschrift : Nöthnitzer Str. 40
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Telefon : +4935146464601
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer : -
Postanschrift : Maximilian Str. 39
Stadt : München
Postleitzahl : 80538
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89-2176-0
Fax : +49 89-2176-2914
Rollen dieser Organisation :
Schlichtungsstelle

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Electron-Mec
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : 01773040157
Postanschrift : Via degli Abeti 17/7
Stadt : Gorgonzola MI,
Postleitzahl : 20064
Land, Gliederung (NUTS) : Milano ( ITC4C )
Land : Italien
Telefon : +49 16090584050
Fax : +49 16090584050
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7007

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 4966691e-df2f-43c0-ac24-aa44b04c841b - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 18/06/2025 11:11 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00396149-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 116/2025
Datum der Veröffentlichung : 19/06/2025