Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage

Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitäten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal …

CPV: 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Ausführungsort:
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage
Vergabestelle:
Universität der Bundeswehr München (UniBw M)
Vergabenummer:
PT 567

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Universität der Bundeswehr München (UniBw M)
Rechtsform des Erwerbers : Zentrale Regierungsbehörde
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage
Beschreibung : Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitäten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet. Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert. Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt VITAL-SENSE durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf zweidimensionalen (2D) Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Die zivilen und militärischen Einsatzmöglichkeiten sind vielfältig. In Zusammenarbeit mit der Bundeswehr können spezifische Lösungen erarbeitet werden. Für die Bundeswehr sind diese Systemüberlegungen von größter Bedeutung, da zukünftige Konzepte, zum Beispiel für das Sanitätswesen, autonome Systeme oder die Sicherheit der Soldaten und der Zivilbevölkerung, direkten Nutzen aus dem Vorhaben generieren können. Im Rahmen des Projekts VITAL-SENSE will die UniBw M mit verschiedenen 2D-Materialien und Schichtsystemen Halbleiterstrukturen herstellen, wie sie z. B. in LEDs, Lasern, Solarzellen oder Hochgeschwindigkeitstransistoren verwendet werden. Dafür benötigt sie eine Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage), die all diese Schichten in hoher Qualität auf ihre Substrate wachsen kann. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage zur gleichzeitigen Prozessierung von drei 2-Zoll-Substraten einschließlich der Durchführung eines Trainings. Der Auftragnehmer muss insbesondere folgende Leistungen erbringen: - Lieferung einer MOVPE-Anlage mit Showerhead-Technologie im Reaktor und einem manuellem Kammer Reinigungsprozess, Temperaturkontrolle, Pumpsystem und Kühlung inklusive Computer Control System, das alle Anlagen und Beschichtungsprozesse überwacht und steuert sowie einem Gas handling System; - Installation und Inbetriebnahme der Anlage; - 3-tägiges Training für zwei Teilnehmer.
Kennung des Verfahrens : 9c004267-38c6-4c18-a130-80eb79711186
Interne Kennung : PT 567
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage
Beschreibung : Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitäten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet. Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert. Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt VITAL-SENSE durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf zweidimensionalen (2D) Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Die zivilen und militärischen Einsatzmöglichkeiten sind vielfältig. In Zusammenarbeit mit der Bundeswehr können spezifische Lösungen erarbeitet werden. Für die Bundeswehr sind diese Systemüberlegungen von größter Bedeutung, da zukünftige Konzepte, zum Beispiel für das Sanitätswesen, autonome Systeme oder die Sicherheit der Soldaten und der Zivilbevölkerung, direkten Nutzen aus dem Vorhaben generieren können. Im Rahmen des Projekts VITAL-SENSE will die UniBw M mit verschiedenen 2D-Materialien und Schichtsystemen Halbleiterstrukturen herstellen, wie sie z. B. in LEDs, Lasern, Solarzellen oder Hochgeschwindigkeitstransistoren verwendet werden. Dafür benötigt sie eine Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage), die all diese Schichten in hoher Qualität auf ihre Substrate wachsen kann. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage zur gleichzeitigen Prozessierung von drei 2-Zoll-Substraten einschließlich der Durchführung eines Trainings. Der Auftragnehmer muss insbesondere folgende Leistungen erbringen: - Lieferung einer MOVPE-Anlage mit Showerhead-Technologie im Reaktor und einem manuellen Kammer Reinigungsprozess, Temperaturkontrolle, Pumpsystem und Kühlung inklusive Computer Control System, das alle Anlagen und Beschichtungsprozesse überwacht und steuert sowie einem Gas handling System; - Installation und Inbetriebnahme der Anlage; - 3-tägiges Training für zwei Teilnehmer.
Interne Kennung : PT 567

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Optionen :
Beschreibung der Optionen : Der Auftragnehmer muss auf Abruf des Auftraggebers einen Heat Exchanger nachrüsten.

5.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Zusätzliche Informationen : Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union - NextGenerationEU finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert.

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.15 Techniken

Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen : Die Frist zur Einreichung eines Nachprüfungsantrages bei der unter 8.1 ORG-0002 genannten Stelle, um den Abschluss des Vertrages zu verhindern, beträgt zehn Kalendertage, gerechnet ab dem Tag nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung. Auf § 135 Abs. 3 GWB wird hingewiesen.
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet : Universität der Bundeswehr München (UniBw M)

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 1 149 200 Euro
Direktvergabe :
Begründung der Direktvergabe : Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung : Ein Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb ist nach § 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b) und lit. c), Abs. 6 VgV zulässig. Nach dieser Norm darf ein öffentlicher Auftraggeber Aufträge im Wege des Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb vergeben, wenn zum Zeitpunkt der Aufforderung zur Abgabe von Angeboten nur ein bestimmtes Unternehmen den Auftrag erbringen oder bereitstellen kann, weil aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist oder wegen des Schutzes von ausschließlichen Rechten, insbesondere von gewerblichen Schutzrechten. Zudem darf es keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung geben und der mangelnde Wettbewerb darf nicht das Ergebnis einer künstlichen Einschränkung der Auftragsvergabeparameter sein. Für die zu beschaffende Leistung kommt nur ein einziger Anbieter in Betracht. Ein Markt besteht nicht. Die UniBw M möchte eine MOVPE-Anlage mit einem Gaseinlasssystem beschaffen, das gesichert die diversen Precursoren getrennt führt und erst unmittelbar über dem Wafer getrennt voneinander, aber doch aus räumlich unmittelbar benachbarten Düsen injiziert (Close-Coupled Showerhead). Die Verteilung der Precursoren muss zudem nachweislich laminar (verwirbelungsfrei) sein. Die zu beschaffende Anlage muss zudem eine Temperatur von 1.200 °C, zu messen am Substrat, erreichen. Die zu beschaffende Anlage muss so konstruiert sein, dass die UniBw M die Gaskonzentrationen inline in Echtzeit messen kann. AIXTRON SE (Aixtron) ist europaweit der einzige Anbieter entsprechender Anlagen. Kein anderes Unternehmen verfügt über das erforderliche Know-how, um eine entsprechende Anlage zu bauen. Zudem hält Aixtron zwei für die Leistungserbringung erforderliche Patente. Aixtron bietet eine einzigartige patentierte Technik an, mit der das Process Gap während des Prozesses zwischen 5 mm und 25 mm dynamisch verändert und dadurch das Prozessfenster untersucht und optimiert werden kann. Dies benötigt die UniBw M, um Schichtsysteme wachsen zu können, die eine Weiterentwicklung ihrer derzeitigen Heterostrukturen darstellen können. Zudem bietet Aixtron ein patentiertes Temperaturüberwachungssystem an. Mit diesem System kann die UniBw M u. a. das Temperaturprofil über den Suszeptor ausgleichen, um eine optimale Homogenität der Schichtabscheidung zu erreichen. Zudem kann sie die ermittelte Oberflächentemperatur mit der Topside-Temperaturregelungsfunktion kombinieren. Dies ermöglicht eine sehr hohe Temperaturhomogenität auf dem Wafer, von Wafer zu Wafer und von Lauf zu Lauf. Die UniBw M benötigt das vollständige Temperaturprofil des gesamten Wafers in Echtzeit, da geringste Temperaturabweichungen unerwünschte Variationen in den Eigenschaften der erzeugten Schichten zur Folge haben und die Gründe dieser Variationen sonst nicht nachvollziehbar wären. Eine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung existiert nicht und der mangelnde Wettbewerb ist auch nicht das Ergebnis einer künstlichen Einschränkung der Auftragsvergabeparameter. Die UniBw M hat sich insbesondere aus sachlichen und auftragsbezogenen Gründen willkürfrei entschieden, eine MOVPE-Anlage mit der Close Coupled Showerhead-Technologie zu beschaffen. Diese verhindert unerwünschte Vorreaktionen in der Gasphase oder im Zuleitungsweg. Da die UniBw M die Anlage zu Forschungs- und Entwicklungszwecken einsetzen möchte, ist es unerlässlich, eine flexible Gasmischung mit einer großen Anzahl von Quellen zur Verfügung zu stellen. Ohne die laminare Strömung wäre die erforderliche homogene Beschichtung nicht gewährleistet. Das Temperaturprofil benötigt die UniBw M, um unerwünschte und nicht nachvollziehbare Variationen in den Eigenschaften der Schichten zu vermeiden. Die UniBw M muss zudem die Gaskonzentrationen inline in Echtzeit messen, um diese als Feedback für die Regelung der Gaseinlässe nutzen zu können. Dies ermöglicht eine reproduzierbare Schichtqualität.

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

6.1.2 Informationen über die Gewinner

8. Organisationen

8.1 ORG-0000

Offizielle Bezeichnung : Universität der Bundeswehr München (UniBw M)
Registrierungsnummer : DE811246937
Postanschrift : Werner-Heisenberg-Weg 39
Stadt : Neubiberg
Postleitzahl : 85577
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Telefon : +4921160055538
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : AIXTRON SE
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Großunternehmen
Registrierungsnummer : DE123597183
Postanschrift : Dornkaulstraße 2
Stadt : Herzogenrath
Postleitzahl : 52134
Land, Gliederung (NUTS) : Städteregion Aachen ( DEA2D )
Land : Deutschland
Telefon : 000
Rollen dieser Organisation :
Bieter

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +4922894990
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : be731cf4-84e7-484b-9c29-6150607c8622 - 01
Formulartyp : Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung : Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 16/09/2025 18:17 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00609982-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 179/2025
Datum der Veröffentlichung : 18/09/2025