Ätzanlage

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Ätzanlage für die Bearbeitung einzelner Wafer. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Ätzanlage für die Bearbeitung einzelner Wafer gemäß Leistungsbeschreibung.

CPV: 42000000 Industrielle Maschinen
Ausführungsort:
Ätzanlage
Vergabestelle:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Vergabenummer:
Z.841ha-0252#0076

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Rechtsform des Erwerbers : Zentrale Regierungsbehörde
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Ätzanlage
Beschreibung : Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Ätzanlage für die Bearbeitung einzelner Wafer.
Kennung des Verfahrens : a7f8b771-80b0-4d24-8b2c-9ba34b77fc53
Interne Kennung : Z.841ha-0252#0076
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42000000 Industrielle Maschinen

2.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Ätzanlage
Beschreibung : Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Ätzanlage für die Bearbeitung einzelner Wafer gemäß Leistungsbeschreibung.
Interne Kennung : Z.841ha-0252#0076

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42000000 Industrielle Maschinen

5.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja
Zusätzliche Informationen : Hinweis gemäß § 11 (3) Vergabeverordnung (VgV): Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattformeinzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischenWerkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf www.evergabe-online.de zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen derAngebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter (Sig-Client) für elektronische Signaturen. Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen, Angeboten und Interessensbestätigungen verwendeten elektronischen Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. VerwendeteVerschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. WeitergehendeInformationen stehen auf https://www.evergabe-online.info bereit. Zur Angebotsabgabe ist der beiliegende PTB-Angebotsvordruck zu verwenden. Zusätzliche Erläuterungen, Spezifikationen etc. auf einer separaten Anlage zum Angebot sind zulässig. Allgemeine Geschäfts-, Verkaufs- oder Lieferbedingungen des Bieters werden nicht akzeptiert. Fragen zu den Vergabeunterlagen sind über die e- Vergabeplattform des Bundes ( www.evergabe-online.de ) einzureichen. Bieterfragen werden grundsätzlich nur beantwortet, wenn sie bis spätestens 10 Kalendertage vor Ablauf der Angebotsfrist gestellt werden.

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 50
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Qualität
Beschreibung : Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 50

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Physikalisch-Technische Bundesanstalt

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : 466 850 Euro

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebot :
Kennung des Angebots : 8575/05/25
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : 466 850 Euro
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : 4500164967/0252#0076/Z.841ha
Datum des Vertragsabschlusses : 16/07/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-0000

Offizielle Bezeichnung : Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Registrierungsnummer : 0204: 991-01483-67
Stadt : Berlin
Postleitzahl : 10587
Land, Gliederung (NUTS) : Berlin ( DE300 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 30 34817453
Internetadresse : https://www.ptb.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt
Registrierungsnummer : Leitweg-ID 991-01483-67
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53126
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : 000
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : DE128244113
Stadt : Krailling
Postleitzahl : 82152
Land, Gliederung (NUTS) : München, Landkreis ( DE21H )
Land : Deutschland
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 0d22df5e-1d4a-45e4-8294-f34ad9dd2c53 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 28/07/2025 15:30 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00499154-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 144/2025
Datum der Veröffentlichung : 30/07/2025