Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)

L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure …

CPV: 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Frist:
15. September 2025 12:00
Art der Frist:
Angebotsabgabe
Ausführungsort:
Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Vergabestelle:
CNRS DELEGATION PARIS-CENTRE
Vergabenummer:
2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CNRS DELEGATION PARIS-CENTRE
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Description : L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.
Identifiant de la procédure : f0dae220-13d4-424c-87c8-3c65d41fa4b5
Identifiant interne : 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP
Type de procédure : Ouverte
La procédure est accélérée : non
Principales caractéristiques de la procédure : Article R2142-1 : Les conditions de participation à la procédure de passation relatives aux capacités du candidat mentionnées à l'article L. 2142-1, ainsi que les moyens de preuve acceptables, sont indiqués par l'acheteur dans les documents de la consultation.

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

2.1.2 Lieu d’exécution

Adresse postale : UMR7588 - Institut des NanoSciences de Paris (INSP), Sorbonne Université, Campus Pierre et Marie Curie, 4, Place de Jussieu
Ville : Paris
Code postal : 75005
Subdivision pays (NUTS) : Paris ( FR101 )
Pays : France
Informations complémentaires : « Aucune caution, ni garantie ne sont exigées Financement sur le budget de l’établissement. Prix ferme pour la prestation. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Son montant sera égal à 30% du montant TTC du marché. Paiement après service fait . Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.

2.1.3 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 530 000 Euro

2.1.4 Informations générales

Informations complémentaires : La consultation prévoit la présentation et le chiffrage de 3 prestations supplémentaires éventuelles obligatoires.
Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Acquisition, livraison et mise en service d’un équipement de gravure plasma de type ICP-RIE au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)
Description : L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.
Identifiant interne : 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

5.1.2 Lieu d’exécution

Subdivision pays (NUTS) : Paris ( FR101 )
Pays : France
Informations complémentaires :

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.5 Valeur

Valeur estimée hors TVA : 530 000 Euro

5.1.6 Informations générales

Participation réservée : La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché non financé par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Le marché en question convient aussi aux petites et moyennes entreprises (PME) : oui
Informations complémentaires : Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2822143&orgAcronyme=f2h. Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée. Le candidat peut transmettre au CNRS une copie de sauvegarde physique avec la mention suivante « Copie de sauvegarde - NE PAS OUVRIR » Procédure n°2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP et à l'adresse suivante : CNRS Délégation Paris-Centre - SFC – Pôle Achats -16, rue Pierre et Marie Curie - 75005 PARIS

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Qualité
Nom : Critère n°1 : Valeur technique
Description : Critère n°1 : Valeur technique et ses 5 sous-critères Sous-critère n° 1 : Garanties apportées en termes de qualité des matériaux et des éléments constituants l’équipement RIE-ICP 15 points, Sous-critère n°2 : Garanties apportées en termes de qualité du système de pompage 5 points, Sous-critère n° 3 : Garanties apportées en termes de performances de gravure (vitesse de gravure, uniformité, rugosité des flancs et du fond de gravure) 10 points, Sous-critère n° 4 Garanties apportées en termes d’adaptation pour une utilisation sur une plateforme académique (IHM, versatilité, évolutivité, …) 15 points, Sous-critère n° 5 Garantie et Qualité du SAV 10 points.
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (points, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 55
Critère :
Type : Coût
Nom : Critère n°2 : Prix
Description : Prix
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (points, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 30
Critère :
Type : Qualité
Nom : Critère n°3 : Délai d'exécution
Description : Délai d'exécution
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (points, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 5
Critère :
Type : Qualité
Nom : Critère n°4: Démarche environnementale
Description : Critère n°4 : Démarche environnementale et ses 2 sous-critères : Sous-critère 1: Puissance électrique consommée (en kW ou kVA) lorsque l’équipement est maintenu sous vide 2 points, Sous critère 2 : Durée de disponibilité et de commercialisation des pièces détachées par rapport à la date d’acquisition du matériel (degré de réparabilité) 8 points.
Catégorie du critère d’attribution seuil : Pondération (points, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution : 10

5.1.11 Documents de marché

5.1.12 Conditions du marché public

Conditions de présentation :
Présentation par voie électronique : Requise
Adresse de présentation : https://www.marches-publics.gouv.fr/
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées : français
Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Non autorisée
Date limite de réception des offres : 15/09/2025 12:00 +02:00
Date limite de validité de l’offre : 3 Mois
Informations relatives à l’ouverture publique :
Informations complémentaires : L’ouverture des plis n’est pas publique, les candidats ne peuvent pas y assister.
Conditions du marché :
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés : Non
Facturation en ligne : Requise
La commande en ligne sera utilisée : non
Le paiement en ligne sera utilisé : non

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de médiation : CCIRA de Paris
Organisation chargée des procédures de recours : Tribunal Administratif de Paris
Informations relatives aux délais de recours : « Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat ».
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : Tribunal Administratif de Paris

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CNRS DELEGATION PARIS-CENTRE
Numéro d’enregistrement : 18008901303282
Adresse postale : 16 rue Pierre et Marie Curie
Ville : Paris
Code postal : 75005
Subdivision pays (NUTS) : Paris ( FR101 )
Pays : France
Point de contact : Pôle Achats
Adresse électronique : marchesdr2@dr2.cnrs.fr
Téléphone : +33 142349400
Adresse internet : http://www.cnrs.fr
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur

8.1 ORG-0002

Nom officiel : Tribunal Administratif de Paris
Numéro d’enregistrement : 177 500 055 00013
Adresse postale : 7 rue de Jouy
Ville : PARIS CEDEX 04
Code postal : 75181
Subdivision pays (NUTS) : Paris ( FR101 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-paris@juradm.fr
Téléphone : +33 144594400
Télécopieur : +33 144594646
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours

8.1 ORG-0003

Nom officiel : CCIRA de Paris
Numéro d’enregistrement : 17750000600024
Adresse postale : Préfecture de la région Île-de-France - Préfecture de Paris Direction des affaires juridiques 5, rue Leblanc
Ville : PARIS Cedex 15
Code postal : 75911
Subdivision pays (NUTS) : Paris ( FR101 )
Pays : France
Adresse électronique : ccira@paris-idf.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de médiation

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender

Informations relatives à l’avis

Identifiant/version de l’avis : 0c28d9d1-f511-45f6-8bde-f79fe5c2f424 - 01
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d’avis : Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 24/07/2025 14:40 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 00491843-2025
Numéro de publication au JO S : 142/2025
Date de publication : 28/07/2025