Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage

Die Leibniz Universität Hannover, Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt die Beschaffung einer Konfokalsputteranlage. Die Beschaffung soll die Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung der Konfokalsputteranlage beinhalten. Geliefert werden soll ein Clustersystem für das reproduzierbare Abscheiden von Dünnschichten mittels Kathodenzerstäubung für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik. Daher wird ein vollautomatisiertes Sputterclustersystem …

CPV: 38000000 Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
Termín:
28. srpna 2025 10:00
Typ lhůty:
Podání nabídky
Místo provedení:
Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Misto zadání:
Leibniz Universität Hannover
Číslo zakázky:
51.30-2025-24

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Leibniz Universität Hannover
Rechtsform des Erwerbers : Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Beschreibung : Die Leibniz Universität Hannover, Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt die Beschaffung einer Konfokalsputteranlage. Die Beschaffung soll die Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung der Konfokalsputteranlage beinhalten.
Kennung des Verfahrens : a2d2c273-de3d-47fe-aa57-c1efeac2198d
Interne Kennung : 51.30-2025-24
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : An der Universität 2
Stadt : Garbsen
Postleitzahl : 30823
Land, Gliederung (NUTS) : Region Hannover ( DE929 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE5GNW
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung, Auftragsunterlagen
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Betrug :
Korruption :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Zahlungsunfähigkeit :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Beschreibung : Geliefert werden soll ein Clustersystem für das reproduzierbare Abscheiden von Dünnschichten mittels Kathodenzerstäubung für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik. Daher wird ein vollautomatisiertes Sputterclustersystem benötigt, welches über eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, eine Transferkammer, eine Heizkammer sowie zwei Prozesskammern für das Sputtern verfügt. In den jeweiligen Prozesskammern werden Heizsysteme für die Temperierung der Proben sowie optische Emissionsspektrometer (OES) benötigt. Die benötigten Schichtsysteme unterscheiden sich in zwei Kategorien: Reaktiv gesputterte Schichten wie Nitride oder Oxide und inert gesputterte hochreine metallische Schichten. In beiden Fällen ist die Co-Abscheidung von bis zu vier verschiedenen Quellmaterialien entscheidend für die Leistungsfähigkeit der Schichten. Somit wird eine konfokale Anordnung der Targets benötigt. Die Substratgröße soll von Chiplevel bis zu 200 mm Wafern reichen und die Aufnahme der Proben soll auf drehbaren Substrathalter erfolgen. Das Sputtercluster wird im Reinraum der Klasse ISO 5 aufgestellt, weshalb das System mit einer entsprechenden Kompatibilität und in einem sauberen Zustand angeliefert werden muss. Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung. Der gewünschte Liefertermin ist der 01.07.2026. Alle Liefertermine, die vor dem 1. Juli 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet. Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.500.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten. Den Zuschlag wird das wirtschaftlichste Angebot bekommen. Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden die Kriterien aus dem beigefügten Leistungsverzeichnis angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird. Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu müssen dem Angebot beigefügt werden. Ihr ausführliches - unterschriebenes bzw. digital signiertes - Angebot muss bis zum 28.08.2025 um 10.00 Uhr im Vergabeportal hochgeladen sein. Die Zuschlagsfrist wird auf den 25.09.2025 festgesetzt. Die Zuschlagserteilung wird aber ggf. auch früher erfolgen. Bis zum Ablauf dieser Frist sind Sie an Ihr Angebot gebunden. Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis. Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen. Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.
Interne Kennung : 51.30-2025-24

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : An der Universität 2
Stadt : Garbsen
Postleitzahl : 30823
Land, Gliederung (NUTS) : Region Hannover ( DE929 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit : Unbegrenzt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Beschreibung : Bitte beachten Sie die im Anschreiben angegebenen einzureichenden Unterlagen

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.500.000 EUR Brutto für das Gesamtsystem inklusive aller Nebenkosten. Alle Preise sind in Euro anzugeben.
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 25
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Liefertermin
Beschreibung : Alle Liefertermine, die vor dem 1. Juli 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet.
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 25
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Funktionsumfang
Beschreibung : Es fließen die folgenden B-Kriterien ein: B2 C2 F3 H3
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 25
Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Sonstiges
Beschreibung : Es fließen die folgenden B-Kriterien ein: J2 J3 J4 J5 J8
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 25

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen : 21/08/2025 23:59 +02:00
Internetadresse der Auftragsunterlagen : https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5GNW/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal :

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Zulässig
Varianten : Zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 28/08/2025 10:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 2.5092025E7 Monat
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den Angebotsinhalt grundlegend verändern können).
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 28/08/2025 10:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : Der gewünschte Liefertermin ist der 01.07.2026. Liefertermine nach diesem Datum werden mit einem Punktabzug versehen. (siehe Bewertungsschema) Alle Liefertermine, die vor dem 1. Juli 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.500.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.
Elektronische Rechnungsstellung : Nicht zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein
Finanzielle Vereinbarung : Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Informationen über die Überprüfungsfristen : Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit: 1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt; 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Leibniz Universität Hannover
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : Leibniz Universität Hannover

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Leibniz Universität Hannover
Registrierungsnummer : DE811245527
Postanschrift : Welfengarten 1
Stadt : Hannover
Postleitzahl : 30167
Land, Gliederung (NUTS) : Region Hannover ( DE929 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf
Telefon : +49 5117625444
Profil des Erwerbers : https://www.uni-hannover.de/de/
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Registrierungsnummer : t:04131153308
Postanschrift : Auf der Hude 2
Stadt : Lüneburg
Postleitzahl : 21339
Land, Gliederung (NUTS) : Lüneburg, Landkreis ( DE935 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 413115-3308
Fax : +49 413115-2943
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 33ff35dc-f9b0-46e6-b95a-dd6a3197967d - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 21/07/2025 13:58 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00477415-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 138/2025
Datum der Veröffentlichung : 22/07/2025