Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P

Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) The required cluster tool should include a loadlock and a handler, three separate process chambers for ALE/ICP/RIE (Atomic Layer Etching/Inductively Coupled Plasma/Reactive Ion Etching), ALD (Atomic Layer Deposition), and ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). After etching the InP, In(Al)GaAsP, and …

CPV: 31712330 Polovodiče
Místo provedení:
Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P
Misto zadání:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Číslo zakázky:
PR865241-3220-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P
Beschreibung : Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07)
Kennung des Verfahrens : 59eb604d-362d-4955-b313-f15f8e18ea8e
Interne Kennung : PR865241-3220-P
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712330 Halbleiter

2.1.2 Erfüllungsort

Stadt : München
Postleitzahl : 80339
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P
Beschreibung : 1 Stück. Das erforderliche Cluster-Tool sollte eine Ladeschleuse und einen Handler, drei separate Prozesskammern für ALE/ICP/RIE (Atomic Layer Etching/Inductively Coupled Plasma/Reactive Ion Etching), ALD (Atomic Layer Deposition) und ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) umfassen. Nach dem Ätzen der InP-, In(Al)GaAsP- und In(Al)GaAs-Schichten auf 3"- bis 6"-Wafern in der ALE/ICP/RIE-Kammer sollten diese unter Hochvakuum in eine der Beschichtungskammern gebracht werden. Die ALD-Kammer sollte die Beschichtung mit SiNx, SiO2, Al2O3 und TiO2 ermöglichen, während die ICP-PECVD-Kammer für SiNx und SiO2 geeignet sein sollte. Optionen: ALD-Kammer Gase Ozon (O3) wird über ein separates Generatorsystem zugeführt. ALD-Kammer Ellipsometer Ellipsometer zur in-situ Messung von ALD-Schichten. ALD-Kammer Pumpensystem Vakuum-Kältefalle als Pumpenschutz. ICP-PECVD-Kammer Endpunktdetektion zur Plasmareinigung Optisches Emissionsspektrometer (200 - 850 nm). ICP-PECVD-Kammer Substrathalter Quarz-Klemmring zum Festklemmen des 200-mm-Wafers/Trägers auf der Substratelektrode. ALE-Kammer Optische Emission Optisches Emissionsspektrometer (200 - 850 nm). ALE-Kammer Substratelektrode Die Elektrode muss auch für den Betrieb bei Temperaturen von bis zu -150°C geeignet sein. ALE-Kammer Laserinterferometer Ein Laserinterferometer/Reflektometer für die In-situ-Messung von Ätztiefen/-raten. ALE-Kammer Substrathalter Quarz-Klemmring zum Festklemmen des 200-mm-Wafers/Trägers auf der Substratelektrode.
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712330 Halbleiter

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 19/10/2026
Enddatum der Laufzeit : 23/10/2026

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Qualität
Bezeichnung : Technik
Beschreibung : Technik
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 65
Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 35

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Direktvergabe :
Begründung der Direktvergabe : Bedarf an zusätzlichen Bauleistungen oder Dienstleistungen durch den ursprünglichen Auftragnehmer
Sonstige Begründung : Siehe Begründung für die Wahl des Verfahrens.

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : Oxford Instruments
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 29/07/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 0
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 0

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Oxford Instruments
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer : DE113869215
Postanschrift : Postfach 45 09
Stadt : Wiesbaden
Postleitzahl : 65035
Land, Gliederung (NUTS) : Wiesbaden, Kreisfreie Stadt ( DE714 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 1743329313
Fax : +49 6122937178
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : ef6f45d2-66c2-4905-ac34-1014dbc823ee - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 29/07/2025 13:47 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00498687-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 144/2025
Datum der Veröffentlichung : 30/07/2025