VRTP-Kammern

VRTP-Kammern Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder …

CPV: 31712100 Микроелектронни машини и уреди
Краен срок:
Авг. 12, 2025, 1 след обяд
Вид на крайния срок:
Подаване на оферта
Място на изпълнение:
VRTP-Kammern
Издаващ орган:
NaMLab gGmbH
Номер на наградата:
NLB2025_07

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : NaMLab gGmbH
Rechtsform des Erwerbers : Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Wirtschaftliche Angelegenheiten

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : VRTP-Kammern
Beschreibung : VRTP-Kammern
Kennung des Verfahrens : 0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf
Interne Kennung : NLB2025_07
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Nöthnitzer Straße 64a
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen : Reinraum, 1. Stock im Gebäude

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv - Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift : EU Richtlinien

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung
Korruption : Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage Wettbewerbsregister

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuum-Prozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben
Beschreibung : Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
Interne Kennung : LOT-0001

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge : 2 Stück

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Nöthnitzer Straße 64a
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen : Reinraum, 1. Stock im Gebäude

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 7 Monat

5.1.5 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 480 000 Euro

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : ja
Zusätzliche Informationen : #Besonders auch geeignet für:other-sme#

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.8 Zugänglichkeitskriterien

Kriterien für die Zugänglichkeit für Menschen mit Behinderungen wurden nicht berücksichtigt, da die Beschaffung nicht für die Nutzung durch natürliche Personen vorgesehen ist

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung : Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Kriterium : Finanzkennzahlen
Beschreibung : Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Kriterium : Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung : Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung
Kriterium : Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung : Eigenerklärung muss unterschrieben werden.

5.1.11 Auftragsunterlagen

Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen : Schutz besonders sensibler Informationen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Informationen über zugangsbeschränkte Dokumente einsehbar unter : https://www.evergabe.de/unterlagen/0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf/zustellweg-auswaehlen

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit : Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Frist für den Eingang der Angebote : 12/08/2025 13:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 39 Tag
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : Details zu den Spezifikationen, Informationen zum Unternehmen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 13/08/2025 09:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Elektronische Rechnungsstellung : Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : ja
Finanzielle Vereinbarung : Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %.Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : NaMLab gGmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt : NaMLab gGmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : NaMLab gGmbH
Registrierungsnummer : HRB 24890
Postanschrift : Nöthnitzer Straße 64 a
Stadt : Dresden
Postleitzahl : 01187
Land, Gliederung (NUTS) : Dresden, Kreisfreie Stadt ( DED21 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf
Telefon : +49 21249900
Internetadresse : https://www.namlab.com
Profil des Erwerbers : https://www.evergabe.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Registrierungsnummer : keine Angabe
Postanschrift : Braustraße 2
Stadt : Leipzig
Postleitzahl : 04107
Land, Gliederung (NUTS) : Leipzig, Kreisfreie Stadt ( DED51 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen
Telefon : +493419771040
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : 0197c68e-d502-4220-9a31-13432b0cb9da - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 04/07/2025 14:19 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00439896-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 127/2025
Datum der Veröffentlichung : 07/07/2025