Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition

Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm. Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen …

CPV: 38500000 Уреди за контрол и изпитания
Краен срок:
Авг. 8, 2025, обяд
Вид на крайния срок:
Подаване на оферта
Място на изпълнение:
Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
Издаващ орган:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Номер на наградата:
IHP-2025-048

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Rechtsform des Erwerbers : Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
Beschreibung : Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.
Kennung des Verfahrens : e0bb03fa-b109-44cc-b643-793d3023acd4
Interne Kennung : IHP-2025-048
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen

2.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Im Technologiepark 25
Stadt : Frankfurt (Oder)
Postleitzahl : 15236
Land, Gliederung (NUTS) : Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt ( DE403 )
Land : Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen : Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.
Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Betrug :
Korruption :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Zahlungsunfähigkeit :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
Beschreibung : Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm. Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert. Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe. Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein. Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel. Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3-Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren. - Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten. - System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen - Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung - Trockenes Pumpensystem - Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff - Montage der Kältemaschine - Ersatzteil-Kit
Interne Kennung : IHP-2025-048

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen

5.1.2 Erfüllungsort

Postanschrift : Im Technologiepark 25
Stadt : Frankfurt (Oder)
Postleitzahl : 15236
Land, Gliederung (NUTS) : Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt ( DE403 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit : Unbekannt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme : Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : ja
Zusätzliche Informationen : #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung : Referenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Kriterium : Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung : Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen : 31/07/2025 23:59 +02:00

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 08/08/2025 12:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 60 Tag
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können :
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen : -
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 08/08/2025 12:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags : -
Elektronische Rechnungsstellung : Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt : ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet : ja

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Informationen über die Überprüfungsfristen : -
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Registrierungsnummer : DE138996546
Postanschrift : Im Technologiepark 25
Stadt : Frankfurt (Oder)
Postleitzahl : 15236
Land, Gliederung (NUTS) : Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt ( DE403 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Beschaffung
Telefon : +49 335-5625337
Fax : +49 335-5625333
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Registrierungsnummer : t:0331866-1719
Postanschrift : Heinrich-Mann-Allee 107
Stadt : Potsdam
Postleitzahl : 14473
Land, Gliederung (NUTS) : Potsdam, Kreisfreie Stadt ( DE404 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 331866-1719
Fax : +49 331866-1652
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : ad69229f-eddd-4d6c-9c48-c49e25b8c568 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 08/07/2025 08:49 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00447274-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 129/2025
Datum der Veröffentlichung : 09/07/2025