ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1) - PR877552-2050-P

ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1) ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1) 1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage mit planarer ICP-Quelle zur trockenchemischen Strukturierung von dielektrischen Schichten. Die am IAF entwickelten und qualifizierten Ätzprozesse für die Strukturierung müssen direkt auf der neuen Anlage eingesetzt werden können und die gleichen Ätzergebnisse liefern …

CPV: 42900000 Различни видове машини с общо и специално предназначение
Място на изпълнение:
ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1) - PR877552-2050-P
Издаващ орган:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Номер на наградата:
PR877552-2050-P

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1) - PR877552-2050-P
Beschreibung : ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1)
Kennung des Verfahrens : 1ae6c033-ae98-442f-8ed3-cc9697c11356
Interne Kennung : PR877552-2050-P
Verfahrensart : Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

2.1.2 Erfüllungsort

Land : Deutschland
Ort im betreffenden Land

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0000

Titel : ICP- RIE Plasma Etching Tool (IAF 07c.1) - PR877552-2050-P
Beschreibung : 1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage mit planarer ICP-Quelle zur trockenchemischen Strukturierung von dielektrischen Schichten. Die am IAF entwickelten und qualifizierten Ätzprozesse für die Strukturierung müssen direkt auf der neuen Anlage eingesetzt werden können und die gleichen Ätzergebnisse liefern wie die derzeit eingesetzte Ätzanlage (Sentech ICP-RIE SI500244); diese bekannten Prozesse sollten auch auf die zukünftig zu erwartenden Wafergrößen bis 150mm übertragbar sein Optionen: Steuerung - Digitale Schnittstelle zur Übertragung von System- und Prozessdaten an ein MES (Einwegkommunikation; SECS/ GEM)
Interne Kennung : LOT-0000

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

5.1.3 Geschätzte Dauer

Datum des Beginns : 01/06/2026
Enddatum der Laufzeit : 05/06/2026

5.1.6 Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : ja

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium :
Art : Preis
Bezeichnung : Preis
Beschreibung : Preis
Kategorie des Schwellen-Zuschlagskriteriums : Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl : 100

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Direktvergabe :
Begründung der Direktvergabe : Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung : siehe Alleinstellungsbegründung

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung : LOT-0000

Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner :
Offizielle Bezeichnung : SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebot :
Kennung des Angebots : TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen : LOT-0000
Wert der Ausschreibung : Nicht veröffentlicht
Begründungscode : Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen : Nein
Informationen zum Auftrag :
Kennung des Auftrags : CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses : 07/08/2025

6.1.4 Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge :
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1
Art der eingegangenen Einreichungen : Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge : 1

8. Organisationen

8.1 ORG-7001

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer : DE 129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Kontaktperson : Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon : +49891205-0
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7004

Offizielle Bezeichnung : Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer : t:022894990
Postanschrift : Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53113
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005

Offizielle Bezeichnung : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer : DE-129515865
Postanschrift : Hansastraße 27c
Stadt : München
Postleitzahl : 80686
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 89 1205-0
Internetadresse : https://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation :
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers : Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer : DE 128 244 113
Postanschrift : Konrad-Zuse-Bogen 13
Stadt : Krailling
Postleitzahl : 82152
Land, Gliederung (NUTS) : Starnberg ( DE21L )
Land : Deutschland
Telefon : +49 898979607-0
Fax : +49 898979607-22
Rollen dieser Organisation :
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer
Gewinner dieser Lose : LOT-0000

8.1 ORG-7006

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

11.1 Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : fcd1081f-4462-4618-ae35-305a2c968421 - 01
Formulartyp : Ergebnis
Art der Bekanntmachung : Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 07/08/2025 16:37 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch Englisch

11.2 Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00523847-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 152/2025
Datum der Veröffentlichung : 11/08/2025