Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. …

CPV: 31640000 Машини и апарати със специфична функция
Краен срок:
Септ. 29, 2025, обяд
Вид на крайния срок:
Подаване на оферта
Място на изпълнение:
Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Издаващ орган:
Ludwig-Maximilians-Universität München
Номер на наградата:
MQV-Plasma

1. Beschaffer

1.1 Beschaffer

Offizielle Bezeichnung : Ludwig-Maximilians-Universität München
Rechtsform des Erwerbers : Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers : Bildung

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel : Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Beschreibung : Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung
Kennung des Verfahrens : bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4
Interne Kennung : MQV-Plasma
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt : nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion

2.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland

2.1.3 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 700 000 Euro

2.1.4 Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage :
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe : Bekanntmachung
Korruption :
Betrug :
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung :
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels :
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung :
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten :
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen :
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen :
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs :
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten :
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten. :
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren :
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens :
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen :
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen :
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern :
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit :
Zahlungsunfähigkeit :
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter :
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften :

5. Los

5.1 Technische ID des Loses : LOT-0001

Titel : Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Beschreibung : Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. Zudem muss die Anlage über eine Bias-fähige Ellektrode verfügen, um klassische Parallelplatten-RIE-Prozesse durchzuführen. Das Vakuumsystem muss fähig sein, über einen breiten Druckbereich den Prozessdruck stabil zu regeln, da ALD-Prozesse gewöhnlich höhere Drücke erfordern als RIE-Prozesse. Darüber hinaus müssen alle wesentlichen Funktionen einer RIE und einer PE ALD voll erfüllt werden, so wie sie in den Mindestanforderungen der Ausschreibung aufgeführt sind. Auch RIE-Prozesse mit kapazitiv gekoppeltem Plasma und chemische Abscheideprozesse als IC PECVD müssen durchführbar sein.
Interne Kennung : 0001

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags : Lieferungen
Haupteinstufung ( cpv ): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion

5.1.2 Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Zusätzliche Informationen :

5.1.3 Geschätzte Dauer

Laufzeit : 12 Monat

5.1.5 Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt. : 700 000 Euro

5.1.6 Allgemeine Informationen

Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben : Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen : nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet : nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe : Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien : Bekanntmachung
Kriterium : Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung : Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5).
Kriterium : Zertifikate von unabhängigen Stellen über Qualitätssicherungsstandards
Beschreibung : Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können.

5.1.10 Zuschlagskriterien

Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde : Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind : Deutsch

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung :
Elektronische Einreichung : Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können : Deutsch
Elektronischer Katalog : Nicht zulässig
Varianten : Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen : Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote : 29/09/2025 12:00 +02:00
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss : 39 Tag
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung :
Eröffnungsdatum : 29/09/2025 12:00 +02:00
Auftragsbedingungen :
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen : Nein
Elektronische Rechnungsstellung : Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt : nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet : nein

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung :
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem :
Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle : Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Informationen über die Überprüfungsfristen : (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt : Ludwig-Maximilians-Universität München
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt : Ludwig-Maximilians-Universität München

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung : Ludwig-Maximilians-Universität München
Registrierungsnummer : 13316
Postanschrift : Geschwister-Scholl-Platz 1
Stadt : München
Postleitzahl : 80539
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 8921803733
Profil des Erwerbers : https://www.deutsche-evergabe.de
Rollen dieser Organisation :
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung : Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer : 3a64fcad-d351-43fa-b8e2-980d686b3d8e
Postanschrift : Maximilianstr. 39
Stadt : München
Postleitzahl : 80539
Land, Gliederung (NUTS) : München, Kreisfreie Stadt ( DE212 )
Land : Deutschland
Telefon : +49 8921762411
Rollen dieser Organisation :
Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung : Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer : 0204:994-DOEVD-83
Stadt : Bonn
Postleitzahl : 53119
Land, Gliederung (NUTS) : Bonn, Kreisfreie Stadt ( DEA22 )
Land : Deutschland
Telefon : +49228996100
Rollen dieser Organisation :
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung : bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 - 01
Formulartyp : Wettbewerb
Art der Bekanntmachung : Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung : 27/08/2025 11:10 +02:00
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist : Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung : 00563507-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe : 165/2025
Datum der Veröffentlichung : 29/08/2025