iLineStepper (ENAS-02.1) 1 pc. iLineStepper

komplementärer Atomlagendepositions- und Atomlagenätz- Anlagen Beschaffung zweier komplementärer Atomlagendepositions- und Atomlagenätzanlagen (inkl. Siliziumtiefenätzen) für den Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen bestehend aus zwei systemkompatiblen und komplementär ausgestatten Hochvakuumanlagen. Beide Anlagen verfügen über jeweils ein Single Wafer Loadlack für bis zu 200 mm Substrate, die in die Reinraumwand des …

University College Cork request the supply of a Non-contact Wafer Sheet Resistance Mapper for use with semiconductor materials in wafer and coupon format. The required system will be used to carry out high precision, quantitative measurements of resistivity on the surface of a wafer following semiconductor wafer processing. The system …

Coater&Developer (HHI-06.1) Coater&Developer (HHI-06.1) 1 Stück Coater&Developer Die Anschaffung eines automatischen Resist-Abscheidungs- und Entwicklungssystem ist für die flexible, genaue und reproduzierbare Prozesskette für die heterogene Chiplet-Integration mit Multimaterialfähigkeit auf Materialgrößen bis zu 200 mm, hauptsächlich auf LNOI- und III/V-Material, erforderlich. Um die Anforderung eines reproduzierbaren Prozesses zu erfüllen, ist ein …