FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support) Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support) Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer RIE Ätzanlage Der Auftragnehmer (AN) liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber (AG) nach Inbetriebnahme eine in dieser Leistungsbeschreibung näher beschriebene ICP-RIE Ätzanlage.