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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Máquinas e aparelhos microelectrónicos e microssistemas, 38424000 Equipamento para medição e controlo, 38433000 Espectrómetros, 38000000 Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos), 45231112 Instalação de sistemas de condutas, 45333000 Instalação de equipamento a gás, 31711420 Tubos e equipamento para microondas, 31710000 Equipamento electrónico
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