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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Mikroelektroniczne maszyny i aparatura oraz mikrosystemy, 38424000 Urządzenia pomiarowe i sterujące, 38433000 Spektrometry, 38000000 Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego), 45231112 Instalacja rurociągów, 45333000 Roboty instalacyjne gazowe, 31711420 Lampy mikrofalowe i urządzenia, 31710000 Sprzęt elektroniczny
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