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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Micro-elektronische machines en toestellen en microsystemen, 38424000 Meet- en controle-uitrusting, 38433000 Spectrometers, 38000000 Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen), 45231112 Aanleggen van buisleidingen, 45333000 Installeren van gasfittings, 31711420 Microgolfbuizen en uitrusting, 31710000 Elektronische uitrusting
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