Fourniture, livraison, installation, mise en service et la formation à l'utilisation d'une chambre de dépôt dédiée à la réalisation de couches minces par évaporation sous vide 2 Tranches optionnelles : • Tranche optionnelle 1 : Fourniture, livraison, installation, mise en service d’un sas auxiliaire d’introduction sous vide • Tranche optionnelle …