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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Macchinari, apparecchiature e microsistemi microelettronici, 38424000 Apparecchi di misurazione e controllo, 38433000 Spettrometri, 38000000 Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri), 45231112 Installazione di un sistema di condutture, 45333000 Lavori di installazione di raccorderia gas, 31711420 Apparecchiature e tubi a microonde, 31710000 Apparecchiatura elettronica
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