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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Mikroelektronički strojevi i aparati i mikrosustavi, 38424000 Oprema za mjerenje i kontrolu, 38433000 Spektrometri, 38000000 Laboratorijska, optička i precizna oprema (osim naočala), 45231112 Postavljanje sustava cijevi, 45333000 Radovi instaliranja plinske opreme, 31711420 Mikrovalne cijevi i oprema, 31710000 Elektronička oprema
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