Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution

Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour …

CPV: 31712100 Microelectronic machinery and apparatus
áit fhorghníomhaithe:
Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution
clárlann:
CEA/GRENOBLE
uimhir dámhachtana:
PN-B24-02913-ST

1. Acheteur

1.1 Acheteur

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement

2. Procédure

2.1 Procédure

Titre : Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution
Description : Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement devra donc être capable de traiter des substrats différents – silicium, SOI, verre, saphir, SiC – sur des gammes d’épaisseur variées. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau; OPT2 : Formation à la Maintenance avancée; Et les options facultatives suivantes : OPT3 : Scan Diffusion transversale (ω), porosité (2θ) pour Module XRR; OPT4 : Scan Stress résiduel (2θ – χ loop) pour Module GIXRD ; OPT5 : Scan Inplane 2θ–φ pour Module IPXRD ; OPT6 : Scan cartographie 2D pour Module XRD ; OPT7 : Système de pompage ; OPT8 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement ; OPT9 : Deuxième année de garantie.
Identifiant de la procédure : 7a39b53b-7b98-485c-ba31-a11032344f65
Avis précédent : 479249-2024
Identifiant interne : PN-B24-02913-ST
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
Justification de la procédure accélérée :
Principales caractéristiques de la procédure :

2.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

2.1.2 Lieu d’exécution

Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France

2.1.4 Informations générales

Base juridique :
Directive 2014/24/UE

5. Lot

5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001

Titre : Fourniture d'un diffractomètre rayon X haute résolution
Description : Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement devra donc être capable de traiter des substrats différents – silicium, SOI, verre, saphir, SiC – sur des gammes d’épaisseur variées. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau; OPT2 : Formation à la Maintenance avancée; Et les options facultatives suivantes : OPT3 : Scan Diffusion transversale (ω), porosité (2θ) pour Module XRR; OPT4 : Scan Stress résiduel (2θ – χ loop) pour Module GIXRD ; OPT5 : Scan Inplane 2θ–φ pour Module IPXRD ; OPT6 : Scan cartographie 2D pour Module XRD ; OPT7 : Système de pompage ; OPT8 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement ; OPT9 : Deuxième année de garantie.
Identifiant interne : PN-B24-02913-ST

5.1.1 Objet

Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques

5.1.2 Lieu d’exécution

Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.

5.1.3 Durée estimée

Durée : 12 Mois

5.1.6 Informations générales

Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui

5.1.10 Critères d’attribution

Critère :
Type : Prix
Nom :
Description : Prix de l’équipement : 45%
Critère :
Type : Qualité
Nom :
Description : Process spec’ (20 tests indiqués au §2 du CdC) : 25%
Critère :
Type : Qualité
Nom :
Description : Equipment spec’ (§3.1 du CdC) : 30%
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères : Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Justification de l’absence d’indication de la pondération des critères d’attribution :

5.1.15 Techniques

Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique

5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen

Organisation chargée des procédures de recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE -
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA/GRENOBLE -
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché : CEA/GRENOBLE -
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE -
Organisation qui signe le marché : CEA/GRENOBLE

6. Résultats

Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis : 1 Euro

6.1 Résultat – Identifiants des lots : LOT-0001

Au moins un lauréat a été choisi.

6.1.2 Informations sur les lauréats

Lauréat :
Nom officiel : MILEXIA France SAS
Offre :
Identifiant de l’offre : B24-02913-ST
Identifiant du lot ou groupe de lots : LOT-0001
Valeur de l'offre : 1 Euro
L’offre a été classée : oui
Place sur la liste des lauréats : 1
Sous-traitance : Pas encore connu
Informations relatives au marché :
Identifiant du marché : B24-02913-ST
Date de conclusion du marché : 13/05/2025
Organisation qui signe le marché : CEA/GRENOBLE

6.1.4 Informations statistiques

Offres ou demandes de participation reçues :
Type de soumissions reçues : Offres
Nombre d’offres ou de demandes de participation reçues : 1

8. Organisations

8.1 ORG-0001

Nom officiel : CEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 avenue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Syrga TURGANALIEVA
Adresse électronique : syrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone : 0438783071
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui signe le marché

8.1 ORG-0002

Nom officiel : GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement : 17800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville : GRENOBLE CEDEX
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse électronique : greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone : 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours

8.1 ORG-0003

Nom officiel : MILEXIA France SAS
Taille de l’opérateur économique : Moyenne
Numéro d’enregistrement : B 719 804 817
Adresse postale : Espace Technologique de Saint Aubin, Bâtiment Mercury, Route de l’Orme des Merisiers
Ville : Saint-Aubin
Code postal : 91190
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : Franck SENEQUIER
Adresse électronique : franck.senequier@milexia.com
Téléphone : 06 20 09 22 00
Rôles de cette organisation :
Soumissionnaire
Lauréat de ces lots : LOT-0001

8.1 ORG-0000

Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique : ted@publications.europa.eu
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis : 0af2ba65-9496-46d9-9b6b-f8c3c1854fa9 - 01
Type de formulaire : Résultats
Type d’avis : Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Date d’envoi de l’avis : 21/05/2025 09:58 +00:00
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 00331646-2025
Numéro de publication au JO S : 98/2025
Date de publication : 22/05/2025