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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes, 38424000 Matériel de mesure et de contrôle, 38433000 Spectromètres, 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes), 45231112 Installation de réseau de conduites, 45333000 Travaux d'installation du gaz, 31711420 Tubes et équipement pour hyperfréquences, 31710000 Équipement électronique
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