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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Mikroelektroniset koneet ja laitteet sekä mikrojärjestelmät, 38424000 Mittaus- ja ohjauslaitteet, 38433000 Spektrometrit, 38000000 Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja), 45231112 Putkiverkon asennustyöt, 45333000 Kaasuasennukset, 31711420 Mikroaaltoputket ja -laitteet, 31710000 Elektroniset laitteet
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