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Mikro-Transfer-Printing-Anlage - PR970487-3240-W

Mikro-Transfer-Printing-Anlage 1 St. Mikro-Transfer-Printing-Anlage

CPV: 31712330 Pooljuhtseadised
Täitmise koht:
Mikro-Transfer-Printing-Anlage - PR970487-3240-W
Auhindade andmise asutus:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Auhinna number:
PR970487-3240-W
Väljaanne:
aug. 27, 2025, 2:22 e.l.
DirectWriterLaser (HHI-06.2) - PR880006-3240-P

DirectWriterLaser (HHI-06.2) DirectWriterLaser 1 Stück DirectWriterLaser DirectWriteLaser-System für die flexible, genaue und reproduzierbare Prozesskette für die heterogene Chiplet-Integration mit Mehrmaterialfähigkeit auf Materialgrößen bis zu 200 mm, hauptsächlich auf LNOI- und III/V-Materialien wie InP. DirectWriteLaser-Systeme ermöglichen die schnelle und kostengünstige Erzeugung binärer und vertikaler 3D-Resiststrukturen direkt auf dem Wafer und überwinden …

CPV: 31712330 Pooljuhtseadised
Täitmise koht:
DirectWriterLaser (HHI-06.2) - PR880006-3240-P
Auhindade andmise asutus:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Auhinna number:
PR880006-3240-P
Väljaanne:
aug. 14, 2025, 6:19 e.l.
Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P

Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) The required cluster tool should include a loadlock and a handler, three separate process chambers for ALE/ICP/RIE (Atomic Layer Etching/Inductively Coupled Plasma/Reactive Ion Etching), ALD (Atomic Layer Deposition), and ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). After etching the InP, In(Al)GaAsP, and …

CPV: 31712330 Pooljuhtseadised
Täitmise koht:
Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P
Auhindade andmise asutus:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Auhinna number:
PR865241-3220-P
Väljaanne:
juuli 31, 2025, 5:11 e.l.