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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Microelectronic machinery and apparatus and microsystems, 38424000 Measuring and control equipment, 38433000 Spectrometers, 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses), 45231112 Installation of pipe system, 45333000 Gas-fitting installation work, 31711420 Microwave tubes and equipment, 31710000 Electronic equipment
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