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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme, 38424000 Mess- und Steuergeräte, 38433000 Spektrometer, 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser), 45231112 Installation von Rohrleitungsnetzen, 45333000 Installation von Gasanlagen, 31711420 Mikrowellenröhren und -ausstattung, 31710000 Elektronische Ausstattung
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