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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …
CPV: 31712000 Mikroelektroniske maskiner, apparater og mikrosystemer, 38424000 Måle- og kontroludstyr, 38433000 Spektrometre, 38000000 Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller), 45231112 Installation af rørsystem, 45333000 Installation af gasarmaturer, 31711420 Mikrobølgerør og -udstyr, 31710000 Elektronisk udstyr
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