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Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen …
CPV: 38511100 Elektronrastermikroskoper, 38512000 Ion- og molekylmikroskoper
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