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Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)

Dans le cadre de la phase 4 du projet, NanoRennes compte s?équiper d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Cet équipement permettra de déposer des couches minces de qualité électronique sur des substrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme …

CPV: 31712000 Микроелектронни машини и уреди и микросистеми, 38424000 Оборудване за измерване и за контрол, 38433000 Спектрометри, 38000000 Лабораторно, оптично и прецизно оборудване (без стъклени изделия), 45231112 Монтажни работи на преносни и разпределителни тръбопроводи, 45333000 Строителни и монтажни работи на газови инсталации, 31711420 Свръхвисокочестотни тръби и оборудване, 31710000 Електронно оборудване
Място на изпълнение:
Acquisition d'une machine de dépôt assisté par plasma généré par induction et son installation au réseau de gaz de l'IETR et acquisition d'un spectrophotomètre (CPER CyMoCod Phase 4B)
Издаващ орган:
Université de Rennes
Номер на наградата:
1
Публикация:
Апр. 3, 2025, 8:35 преди обяд